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Posted in | MEMS - NEMS

MEMS 應用的新的深刻的硅銘刻技術

Published on June 6, 2011 at 2:13 AM

牛津儀器宣佈 PlasmaPro Estrelas100,被開發的新的深刻的硅銘刻技術生成傳送行業主導的處理性能和提供靈活的解決方法給 MEMS 市場。

想著 R&D 市場, PlasmaPro Estrelas100 提供最終在處理靈活性。 納諾和微結構可以認識到作為硬件設計了以這個能力運行 Bosch 和 cryo 銘刻技術在同一個房間。 從平穩的側壁進程到高銘刻費率進程, PlasmaPro Estrelas100 被開發了保證 MEMS 應用種類可以達到,不用需要更換房間硬件。

作為新的微電鍍機械系統的發展和商品化 (MEMS)成為事實,傳統設備例如過載信號器,陀螺儀,并且話筒繼續發現在許多的增加的採用家電、顯示和汽車應用。 MEMS 可能提供有設備或傳感器的一個需求小型化的解決方法。 湧現在 R&D 階段的設備包括能源收穫; 演講人; RFID; pico 放映機; 振盪器; 微燃料電池; 并且在其他中的自動聚焦技術。

「牛津儀器等離子技術繼續提供在 MEMS 市場上解決現有的和湧現的應用的技術」,評論標記 Vosloo,牛津儀器等離子技術經銷總理, 「有一個清楚的進程的,并且應用投資組合,我們的技術啟用許多應用今天被識別的和那些明天。 在 19 年期間在 MEMS R&D 的經驗我們瞭解這個市場,并且處理我們的客戶的需要提供他們以可用最創新的工具」。

所有權的低成本通過優化硬件和流程控制,加上未清全球客戶支持,意味著牛津儀器繼續提供他們的客戶一非常好產品提供。

此最新的系統開發加強牛津儀器的目標是新一代工具和系統主導的提供者行業的并且根據我們的能力分析和操作問題研究市場,在最小的規模。 這家公司使用創新把聰明的科學變成支持研究和行業解決 21 世紀的巨大挑戰的國際水平的產品。

Last Update: 26. January 2012 20:05

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