Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Nanosensors | Nanomaterials

Forskere å produsere unike MEMS Bruk Novel Etsing Technique

Published on June 9, 2011 at 8:22 AM

Av Cameron Chai

Forskere har nå utviklet et system som kan produsere unike mikro-elektromekaniske systemer bruker riktig etsing metoden. Forskere ved Systems IMS i Duisburg, Tyskland og Fraunhofer Institute for mikroelektronikk kretser er å tilby en løsning for kommersiell produksjon av mikro-systemer. Et nytt anlegg for å produsere mikro-system-teknologien (MST) vil bli innviet 22. juni.

MSTs, små sensorer integrert i halvledere chips, er produsert i MST laboratoriet og rent rom

MST inkorporerer sensorer, små ventiler eller andre mekaniske deler til halvledere chips. For eksempel er MST fungerer som bevegelsesdetektorer i kollisjonsputer og bare så tykk som et hårstrå.

Det er nødvendig å stable tre lag oppå hverandre for å søke MST til en halvleder. Silisium wafer omfatter nederste laget og fungerer som substrat. Den oppofrende lag på midten fungerer som en spacer. Den øverste lag danner funksjonen lag. Når oppofrende laget er etset bort, gjenstår bare den nødvendige sensor struktur.

Prosessen med etsning må gjøres likt i alle retninger. Forskere som heter denne prosessen "isotropisk etsing." The etsing stoffet etches loddrett ned i underlaget, og også under funksjonen lag. Som et resultat, er tynt funksjon lag bare 100nm og er fortsatt knyttet til underlaget med bare spesifikke suspensjon poeng. Det nye produksjonsanlegget kunne forvandle MST produksjon siden prosessen sikrer høy nøyaktighet på en industriell skala. Flere MST strukturer som akselerasjon sensorer, termiske detektorer, og trykksensorer eller micro maskiner kan produseres med samme teknologi.

Kilde: http://www.fraunhofer.de/

Last Update: 7. October 2011 03:40

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit