Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanoelectronics

Het Toegepaste Concept van het dubbel-Wafeltje van het Gebruik van Materialen om Proces Te Verbeteren Chipmaking

Published on June 18, 2011 at 4:35 AM

Door Cameron Chai

De Toegepaste Materialen heeft de uitbreiding van zijn Toegepast systeem van de Bezinning CMP verklaard om planarization van wolframfilms op te nemen. Dit systeem CMP is betrokken bij het vervaardigen van transistorcontacten en vias in geavanceerde NAND, BORREL, en logicaapparaten.

De Toegepaste Materialen is de enige fabrikant van wolframCMP systeem om closed-loop filmuniformiteit en diktecontrole aan te bieden die wordt vereist om hoge productie van geavanceerde transistorontwerpen te verwezenlijken.

Lakshmanan Karuppiah, Toegepaste CMP, algemene manager, verklaarde dat de vervaardiging van geavanceerde spaanders een moeilijke taak is geworden en toegevoegde wolframCMP stadia en geavanceerde procesbeheersing geïmpliceerd. Maar de geavanceerde op-wafeltjeprestaties ten koste betaalbare van het systeem van GT van de Bezinning helpen chipmakers om deze moeilijkheden te overwinnen. Het gebruik van het systeem van GT van de Bezinning voor kopertoepassingen heeft op de betekenis van dubbel-wafeltjeconcept resulterend in aanzienlijke marktaandeelaanwinsten in het chipmaking proces gewezen, voegde hij toe.

De unieke dual-mode architectuur van dit systeem staat toe om twee wafeltjes op elk oppoetsend stootkussen gelijktijdig te verwerken om volumes te verbeteren, daardoor drukkend voor consumptie geschikte kosten.

De het geavanceerde, in real time gebruik van het systeem en mogelijkheden van de eindpuntcontrole bieden opmerkelijke profielherhaalbaarheid en controle aan.

Bron: http://www.appliedmaterials.com/

Last Update: 12. January 2012 13:45

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit