Posted in | Nanoenergy

Cambridge νανοτεχνολογίας Προμήθειες 40ης Φίτζι Plasma ALD Συστήματος

Published on June 24, 2011 at 2:39 AM

Με Cameron Chai

Cambridge νανοτεχνολογίας έχει δηλώσει την προσφορά του 40ου Φίτζι Plasma της Ατομικής Layer Εναπόθεση (ALD) του συστήματος. ALD χρησιμοποιείται σε τεχνολογίες, όπως φωτισμού και την απεικόνιση, αποθήκευση ενέργειας, και της μικροηλεκτρονικής.

Cambridge νανοτεχνολογίας έχει ως στόχο τη βελτίωση της ALD εκβιομηχάνιση και την έρευνα. Το 2009, η εταιρία κατασκεύασε το σύστημα Φίτζι για την παροχή έκτακτης ευελιξία και εύκολη χρήση σε πειραματικές διαδικασίες. Plasma ALD εργαλείο είναι κατάλληλο για τους επιστήμονες και τους ερευνητές που ασχολούνται με την παραγωγή πάρα πολύ λεπτή επίστρωση που είναι ψηφιακά ελεγχόμενο, pin-τρύπα ελεύθερη, πυκνή, και υψηλής ακρίβειας.

Πλάσματος της εταιρείας ALD σύστημα είναι κατάλληλο για την επεξεργασία πολλών νιτρίδια, οξείδια, μέταλλα όπως η πλατίνα, το νιτρίδιο του τιτανίου, και άλλα υλικά. Με βάση τις συνταγές του πλάσματος προσφέρουν σημαντικά μειωμένη θερμοκρασία για εναπόθεση πλατίνα και λιγότερο αντίσταση των νιτριδίων τιτανίου.

Σύμφωνα με τον Laurent Francis, Microsystems πρόεδρος για UCL, προκειμένου να διεξάγει έρευνα στο Université Catholique de Louvain (UCL), που έψαχναν για τα high-k σύμμορφη λεπτές ταινίες κατατίθενται σε θερμοκρασία δωματίου. Cambridge νανοτεχνολογίας είχε έρθει προς τα εμπρός με καλά ανεπτυγμένο εργαλείο που επιτρέπει ένα ευρύ φάσμα της επιλογής υλικών για την ενίσχυση του ερευνητικού έργου. Cambridge νανοτεχνολογίας καταστεί υποστήριξη για την εγκατάσταση Φίτζι F200 εργαλείο και ALD τεχνική του UCL.

Η Φίτζι ALD σύστημα επιτρέπει στους ερευνητές να καταθέσουν τα υλικά σε διάφορες συνθήκες, όπως υψηλές και χαμηλές θερμοκρασίες, πρότεινε Τζιλ S. Becker, πρόεδρος και ιδρυτής του Cambridge νανοτεχνολογίας. Το σύστημα παρέχει κάποια επιπλέον χαρακτηριστικά όπως μια μονάδα διασποράς για την ένταξη αυτοματισμού, υψηλής μονάδας θερμοκρασίας για την εξέταση δειγμάτων έως 800 ° C, και μια γκοφρέτα συν module για μεγάλου μεγέθους δείγματα, πρόσθεσε.

Πηγή: http://www.cambridgenanotech.com

Last Update: 7. October 2011 03:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit