Posted in | Nanoenergy

Cambridge Nanotech Supplies neljäskymmenes Fidži Plasma ALD System

Published on June 24, 2011 at 2:39 AM

Cameron Chai

Cambridge Nanotech on julistanut tarjontaa 40. Fidži Plasma Atomic Layer Deposition (ALD)-järjestelmä. ALD käytetään tekniikoita, kuten valaistuksen ja näyttö, energian varastointiin ja mikroelektroniikan.

Cambridge Nanotech tavoitteena on parantaa ALD teollistumisen ja tutkimusta. Vuonna 2009 yhtiö valmisti Fidži järjestelmä poikkeuksellisen joustava ja helppo käyttö kokeellisen prosesseissa. Plasma ALD työkalu on apt tiedemiesten ja tutkijoiden sitoutunut tuottamaan erittäin ohuita pinnoitteita, jotka ovat digitaalisesti ohjattu, pin-reikäinen ilmaiseksi, tiheä ja erittäin tarkka.

Yhtiön plasma ALD-järjestelmä sopii käsittelyä useita nitridit, oksidit, metallit, kuten platinaa, titaaninitridillä, ja muita materiaaleja. Saatu plasma reseptit tarjoavat huomattavasti vähentynyt lämpötiloissa platinan laskeuman ja vähemmän resistiivisyys titaaninitridillä.

Mukaan Laurent Francis, Microsystemsin puheenjohtajana UCL, jotta suorittaa tutkimuksen Leuvenin yliopistossa (UCL) he etsivät korkean k conformal ohutkalvojen talletetaan huoneenlämmössä. Cambridge Nanotech oli esittää hyvin kehittynyt väline, jonka avulla laaja valikoima materiaalien valinta tehostaa tutkimustyötä. Cambridge Nanotech sulatettu tukea asentaa Fidži F200 työkalu ja ALD tekniikka on UCL.

Fidži ALD-järjestelmän avulla tutkijat voivat tallettaa materiaaleja vaihtelevissa olosuhteissa kuten korkeissa ja matalissa lämpötiloissa, ehdotti Jill S. Becker, toimitusjohtaja ja perustaja Cambridge Nanotech. Järjestelmä tarjoaa lisäominaisuuksia kuten klusterin moduuli automaation integrointi, korkea lämpötila moduuli näytteiden testaamiseen jopa 800 ° C, ja kiekkojen plus moduuli suureksi näytteitä, hän lisäsi.

Lähde: http://www.cambridgenanotech.com

Last Update: 7. October 2011 03:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit