Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | Nanoenergy

Cambridge Nanotech Perlengkapan 40 Fiji Plasma ALD Sistem

Published on June 24, 2011 at 2:39 AM

Oleh Cameron Chai

Cambridge Nanotech telah menyatakan pasokan ke-40 layer Plasma Deposisi sistem Fiji Atom (ALD). ALD digunakan dalam teknologi seperti pencahayaan dan tampilan, penyimpanan energi, dan mikroelektronika.

Cambridge Nanotech bertujuan untuk meningkatkan industrialisasi ALD dan penelitian. Pada tahun 2009, perusahaan memproduksi sistem Fiji untuk memberikan fleksibilitas yang luar biasa dan penggunaan yang mudah dalam proses eksperimental. Plasma alat ALD sangat tepat bagi para ilmuwan dan peneliti yang terlibat dalam memproduksi ultra-tipis pelapis yang dikontrol secara digital, pin-lubang bebas, padat, dan sangat akurat.

Perusahaan plasma ALD sistem ini cocok untuk pengolahan beberapa nitrida, oksida, logam seperti platinum, titanium nitrida, dan bahan lainnya. Resep plasma diperoleh menawarkan suhu sangat berkurang untuk deposisi platina dan resistivitas kurang dari titanium nitrida.

Menurut Laurent Francis, Microsystems ketua untuk UCL, dalam rangka melakukan penelitian di Université catholique de Louvain (UCL) mereka mencari untuk high-k film tipis konformal disimpan pada suhu kamar. Cambridge Nanotech telah maju dengan alat berkembang baik memungkinkan berbagai macam pemilihan material untuk meningkatkan kerja penelitian. Cambridge Nanotech memberikan dukungan untuk menginstal alat Fiji F200 dan teknik ALD di UCL.

Fiji ALD sistem memungkinkan peneliti untuk deposit bahan di berbagai kondisi seperti suhu tinggi dan rendah, menyarankan Jill S. Becker, presiden dan pendiri dari Cambridge Nanotech. Sistem ini menyediakan beberapa fitur tambahan seperti modul cluster untuk integrasi otomatisasi, modul suhu tinggi untuk pengujian sampel sampai dengan 800 ° C, dan wafer ditambah modul untuk sampel berukuran besar, ia menambahkan.

Sumber: http://www.cambridgenanotech.com

Last Update: 4. October 2011 22:11

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit