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Cambridge NanoTech Fornisce il quarantesimo Sistema del Plasma ALD di Figi

Published on June 24, 2011 at 2:39 AM

Da Cameron Chai

Cambridge NanoTech ha dichiarato l'offerta del suo sistema Atomico del Deposito del Livello del quarantesimo Plasma (ALD) di Figi. ALD è utilizzato nelle tecnologie quali illuminazione e visualizzazione, immagazzinamento dell'energia e la microelettronica.

Cambridge NanoTech sta mirando a migliorare l'industrializzazione e la ricerca di ALD. Nel 2009, la società fabbricata il sistema di Figi per la fornitura flessibilità eccezionale e dell'uso facile nei trattamenti sperimentali. Lo strumento del Plasma ALD è adatto per gli scienziati ed i ricercatori impegnati nella produzione dei rivestimenti ultrasottili che sono digitali, foro di spillo liberano, denso ed altamente accurato.

Il sistema del plasma ALD della società è adatto ad elaborare parecchi nitruri, gli ossidi, i metalli come platino, il nitruro di titanio ed altri materiali. Le ricette Ottenute del plasma offrono le temperature considerevolmente in diminuzione per il deposito del platino e meno resistività del nitruro di titanio.

Secondo Laurent Francis, presidente di Microsistemi per UCL, per condurre ricerca al catholique de Lovanio (UCL) che di Université stavano cercando per le pellicole sottili conformi alte--K depositate alla temperatura ambiente. Cambridge NanoTech era venuto in avanti con uno strumento ben sviluppato permettendo a una vasta gamma di selezione materiale di migliorare il lavoro di ricerca. Cambridge NanoTech ha reso il supporto per installare lo strumento di Figi F200 e la tecnica di ALD a UCL.

Il sistema di Figi ALD permette ai ricercatori di depositare i materiali ai termini varianti quali il livello e le basse temperature, Jill S. Becker, Presidente e fondatore suggerita di Cambridge NanoTech. Il sistema fornisce alcune funzionalità supplementari quale un modulo del cluster per integrazione di automazione, un modulo ad alta temperatura per le prove campiona fino a 800°C e un wafer più il modulo per i grandi campioni, ha aggiunto.

Sorgente: http://www.cambridgenanotech.com

Last Update: 12. January 2012 13:50

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