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Posted in | Nanoenergy

ケンブリッジ NanoTech は第 40 フィージー血しょう ALD システムを供給します

Published on June 24, 2011 at 2:39 AM

カメロンシェ著

ケンブリッジ NanoTech はフィージー第 40 血しょう原子層の沈殿システムの供給を (ALD)宣言しました。 ALD は照明のような技術でおよび表示、エネルギー蓄積およびマイクロエレクトロニクス使用されます。

ケンブリッジ NanoTech は ALD の産業化および研究を改善することを向けています。 2009 年に、会社は実験プロセスの例外的な柔軟性そして容易な使用法を提供するためのフィージーシステムを製造しました。 血しょう ALD ツールは科学者のためにがちであり、ディジタル式である極めて薄いコーティング、ピンホールの作成で実行される研究者は、密および極めて正確放します。

会社の血しょう ALD システムはプラチナのような複数の窒化物、酸化物、金属、チタニウムの窒化物および他の材料を処理するために適しています。 得られた血しょう調理法はチタニウムの窒化物のプラチナ沈殿そしてより少ない抵抗のためのかなり減らされた温度を提供します。

ローレントフランシス島に従って、 UCL のためのミクロシステムの議長、研究を Université の catholique de ルーバン (UCL) で行なうため彼らが室温で沈殿した高k 等角の薄膜のために追求していた。 ケンブリッジ NanoTech はよく発達したツールによって申し出ま研究活動を高めることを物質的な選択の広大な範囲が可能にします。 ケンブリッジ NanoTech は UCL でフィージー F200 のツールおよび ALD の技術をインストールするためにサポートをしました。

フィージー ALD システムは研究者が高低の温度、提案されたジル S. ベッカーの大統領そしてケンブリッジ NanoTech の創設者のようなさまざまな条件で材料を沈殿させることを可能にします。 システムはオートメーションの統合にクラスタモジュールのようなある追加機能を提供します、テストのための高温モジュールは 800°C まで見本抽出し、大型のサンプルのためのモジュールとウエファー、彼は付け加えました。

ソース: http://www.cambridgenanotech.com

Last Update: 12. January 2012 13:16

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