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Posted in | Nanoenergy

케임브리지 NanoTech는 40 피지 플라스마 ALD 시스템을 공급합니다

Published on June 24, 2011 at 2:39 AM

Cameron 차이의

케임브리지 NanoTech는 그것의 피지 40 플라스마 원자 층 공술서 시스템의 공급을 (ALD) 선언했습니다. ALD는 점화와 같은 기술에서 및 전시 에너지 저장 및 마이크로 전자공학 사용됩니다.

케임브리지 NanoTech는 ALD 산업화와 연구를 향상하는 것을 작정이고 있습니다. 2009년에, 회사는 실험적인 프로세스에 있는 특별하은 융통성 그리고 쉬운 사용법 제공을 위한 피지 시스템을 제조했습니다. 플라스마 ALD 공구는 과학자를 위해 적절하 디지털 방식으로 통제되는 매우 얇은 코팅, 작은 구멍 생성에서 관여된 연구원은, 조밀하고, 그리고 고도로 정확하다 해방합니다.

회사의 플라스마 ALD 시스템은 백금 같이 몇몇 질화물, 산화물, 금속, 티타늄 질화물 및 그밖 물자 가공을 위해 적당합니다. 장악한 플라스마 조리법은 티타늄 질화물의 백금 공술서 그리고 더 적은 저항력을 위한 상당히 줄 온도를 제안합니다.

Laurent 프랜시스에 따르면, UCL를 위한 Microsystems 의장, 연구를 Université catholique de Louvain (UCL)에 하기 위하여 그(것)들이 실내 온도에 예금된 높은 k 등각 박막을 위해 찾고 있던. 케임브리지 NanoTech는 잘 발달하는 공구로 앞으로 나서 연구 활동을 강화하는 물자 선택의 광대한 범위를 가능하게 하. 케임브리지 NanoTech는 UCL에 피지 F200 공구와 ALD 기술을 설치하기 위하여 지원을 만들었습니다.

피지 ALD 시스템은 연구원을 가는곳마다 온도 건의한 Jill S. 베커 의 대통령 그리고 케임브리지 NanoTech의 창시자와 같은 다양한 조건에 물자를 예금하는 가능하게 합니다. 시스템은 자동화 통합을 다발 모듈과 같은 추가 특징을 제공합니다 시험을 위한 고열 모듈은 800°C까지 간색하고, 대규모 견본을 위한 모듈 플러스 웨이퍼, 그는 덧붙였습니다.

근원: http://www.cambridgenanotech.com

Last Update: 12. January 2012 13:18

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