Posted in | Nanoenergy

Cambridge NanoTech Supplies 40e Fiji Plasma ALD System

Published on June 24, 2011 at 2:39 AM

Door Cameron Chai

Cambridge NanoTech heeft verklaard de levering van zijn 40e Fiji Plasma Atomic Layer Deposition (ALD)-systeem. ALD wordt gebruikt in technologieën zoals verlichting en display-, energie-opslag en micro-elektronica.

Cambridge NanoTech is gericht op het ALD industrialisatie en onderzoek te verbeteren. In 2009 produceerde het bedrijf de Fiji-systeem voor de toekenning van uitzonderlijke flexibiliteit en eenvoudige gebruik in experimentele processen. Plasma ALD tool is geschikt voor wetenschappers en onderzoekers die zich bezighouden met het produceren van ultra-dunne coatings die digitaal worden aangestuurd, pin-hole vrij, dichte, en zeer nauwkeurig.

Het bedrijf plasma ALD systeem is geschikt voor de verwerking van diverse nitriden, oxiden, metalen zoals platina, titanium nitride, en andere materialen. Verkregen plasma recepten bieden aanzienlijk gedaald temperaturen voor platina depositie en minder weerstand van titanium nitride.

Volgens Laurent Francis, Microsystems voorzitter voor UCL, om onderzoek te doen aan de Universite catholique de Louvain (UCL), ze waren op zoek naar high-k conforme dunne films gedeponeerd bij kamertemperatuur. Cambridge NanoTech was te komen met een goed ontwikkelde instrument om een ​​breed scala van materialen selectie om het onderzoek te verbeteren. Cambridge NanoTech gerenderd steun aan Fiji F200 tool en ALD techniek aan de UCL te installeren.

De Fiji-ALD-systeem stelt onderzoekers in staat om materialen te deponeren bij wisselende omstandigheden, zoals hoge en lage temperaturen, stelde Jill S. Becker, voorzitter en oprichter van Cambridge NanoTech. Het systeem biedt een aantal extra functies, zoals een cluster module voor automatisering integratie, een hoge temperatuur module voor het testen van monsters tot 800 ° C, en een wafer plus module voor grotere monsters, voegde hij eraan toe.

Bron: http://www.cambridgenanotech.com

Last Update: 7. October 2011 03:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit