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剑桥 NanoTech 供应第 40 个斐济等离子 ALD 系统

Published on June 24, 2011 at 2:39 AM

卡梅伦柴

剑桥 NanoTech 宣称其第 40 斐济等离子基本层证言系统 (ALD)用品。 ALD 用于技术例如照明设备和显示、能量储备和微电子学。

剑桥 NanoTech 打算改进 ALD 工业化和研究。 在 2009年,公司制造了提供的例外灵活性和容易的用量斐济系统在实验进程中。 等离子 ALD 工具为科学家是易于的,并且参与生产是数字式控制的超薄的涂层研究员,针孔释放,密集和极为准确。

公司的等离子 ALD 系统适用于处理几氮化物、氧化物、金属象白金,钛氮化物和其他材料。 得到的等离子处方提供白金证言和钛氮化物较少抵抗力的显著地减少的温度。

根据劳伦特弗朗西斯, UCL 的微系统主席,为了开展研究在 Université catholique de 卢万 (UCL) 他们为高的 k 保形薄膜寻找存款在室温。 剑桥 NanoTech 自告奋勇与一个高度发达的工具使各种各样的物质选择提高研究工作。 剑桥 NanoTech 回报技术支持安装斐济 F200 工具和 ALD 技术在 UCL。

斐济 ALD 系统使研究员存款材料在变化的条件例如到处温度,被建议的 Jill S. 贝克尔,剑桥 NanoTech 的总统和创建者。 这个系统为自动化综合化提供某个另外的功能例如字符串模块,测试的一个高温模块抽样至 800°C,并且一个薄酥饼加上大型范例的模块,他补充说。

来源: http://www.cambridgenanotech.com

Last Update: 12. January 2012 13:43

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