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Posted in | Nanoenergy

劍橋 NanoTech 供應第 40 個斐濟等離子 ALD 系統

Published on June 24, 2011 at 2:39 AM

卡梅倫柴

劍橋 NanoTech 宣稱其第 40 斐濟等離子基本層證言系統 (ALD)用品。 ALD 用於技術例如照明設備和顯示、能量儲備和微電子學。

劍橋 NanoTech 打算改進 ALD 工業化和研究。 在 2009年,公司製造了提供的例外靈活性和容易的用量斐濟系統在實驗進程中。 等離子 ALD 工具為科學家是易於的,并且參與生產是數字式控制的超薄的塗層研究員,針孔釋放,密集和極為準確。

公司的等離子 ALD 系統適用於處理幾氮化物、氧化物、金屬像白金,鈦氮化物和其他材料。 得到的等離子處方提供白金證言和鈦氮化物較少抵抗力的顯著地減少的溫度。

根據勞倫特弗朗西斯, UCL 的微系統主席,為了開展研究在 Université catholique de 盧萬 (UCL) 他們為高的 k 保形薄膜尋找存款在室溫。 劍橋 NanoTech 自告奮勇與一個高度發達的工具使各種各樣的物質選擇提高研究工作。 劍橋 NanoTech 回報技術支持安裝斐濟 F200 工具和 ALD 技術在 UCL。

斐濟 ALD 系統使研究員存款材料在變化的條件例如到處溫度,被建議的 Jill S. 貝克爾,劍橋 NanoTech 的總統和創建者。 這個系統為自動化綜合化提供某個另外的功能例如字符串模塊,測試的一個高溫模塊抽樣至 800°C,并且一個薄酥餅加上大型範例的模塊,他補充說。

來源: http://www.cambridgenanotech.com

Last Update: 26. January 2012 20:49

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