Posted in | Lab on a Chip

Applied Materials ontwikkelt innovatieve systemen voor de verbetering van de prestaties van DRAM-chips

Published on July 8, 2011 at 3:06 AM

Door Cameron Chai

Applied Materials heeft nieuwe innovatieve systemen aan de nieuwe serie van Dynamic Random Access Memory (DRAM) chips 'prestaties te verbeteren. Deze systemen zoals de Toegepaste Endura HAR Cobalt PVD-systeem, de Toegepaste Endura Versa XLR W PVD-systeem en de Toegepaste Centura DPN HD systeem te verbeteren het ontwerp van de transistor en de geheugen chips 'contact gebieden.

De Toegepaste Centura DPN HD-systeem verbetert de prestaties transistor door het inbedden van stikstofatomen in de poort isolator om de elektrische eigenschappen te verbeteren. De nieuwe high-dosis (HD)-methode verbetert de originele ontkoppeld Applied's plasma nitridation (DPN) technologie die wordt gebruikt bij de productie van het geheugen apparaten en geavanceerde logica. Dit bevordert chipmakers aan transistor dimensies te verminderen met betere prestaties.

De Toegepaste Endura Versa XLR W PVD-systeem maakt gebruik van standaard wolfraam Applied's physical vapour deposition (PVD) technologie te verminderen weerstand van gate stack met bijna 20%. Dit verbetert de schakelsnelheid nodig is voor gate schalen. Het geavanceerde ontwerp van de reactor verhoogt aanzienlijk de levensduur van vitale verbruikbare onderdelen, dalende kosten per wafer met 10%.

Voor de transistor contact metallisatie, het nieuwe Applied Endura Cobalt PVD-systeem vervangt de gebruikelijke titanium met minder weerstand kobalt, met het oog op een productie-garantie methode om de schakelsnelheid te verbeteren en de energie-consumptie te bieden. Het systeem verbetert Toegepaste kennis in kobalt PVD die wordt toegepast om consistente films te deponeren in de high aspect-ratio contact structuren, waardoor het verlagen van de contact weerstand met 50% ten opzichte van die van titanium.

Om de prestaties tussen DRAM-chips en microprocessoren te verminderen, DRAM chipmakers een betere transistor technologie gebruikt van verbeterde logische bouwstenen om de dichtheid van de transistor te vergroten, zodat de ontwikkeling van snellere en meer verfijnde controle circuits.

Bron: http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 10. October 2011 03:14

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit