Posted in | Nanomaterials

העולם הראשונה - סרטים דקים זהב הופק באמצעות טכנולוגיה PEALD

Published on July 10, 2011 at 7:39 PM

Picosun אוי , פינלנד מבוססי יצרנית גלובלית של המדינה-of-the-art ציוד אטומית Layer (ALD) הפקדת, דוחות תהליך מוצלח להכנת סרטים דקים זהב עם שיטה משופרת פלזמה (PEALD) אלד בפעם הראשונה בעולם. הסרטים זהב גדלו הכור SUNALE אלד של Picosun מצויד Picoplasma מערכת של החברה באותו פלזמה מקור על גבי underlayers רותניום, מכימיקלים מבשר שפותח מסונתז על ידי פרופ 'שון בארי Ph.D. סטודנט ג'ייסון קויל מאוניברסיטת קרלטון, אוטווה, קנדה.

Picosun עבד עם מבשר ופיתוח בתהליך עם אוניברסיטת קרלטון גם לפני. סרטים נחושת אחידות באיכות מעולה הופקדו על גבי underlayers פח על פרוסות סיליקון התעלה, בחלק התחתון של תעלות של 1:15 יחס. יתר על כן, איכות גבוהה כסף סרטים דקים יוצרו בהצלחה כור Picosun SUNALE מ מבשרי שפותחה באוניברסיטת הלסינקי, פינלנד.

הפקה של סרטי מתכת דקים, אחידים מאוד קונפורמי אפילו על יחס גבוה מבנים ההיבט כגון באמצעות סיליקון-Vias (TSV) ושאר ארכיטקטורות ננו 3D הופכת מכריע ייצור האלקטרוניקה של היום. ככל בגדלים מרכיב לשמור ירידה אבל באותו זמן, רמת אינטגרציה של מערכות הגברת, בתצהיר מתכת ידי אלד היא השיטה היחידה שבה שכבות מוליך נקודות מגע יכול להיות מיוצר על ננומטר בקנה מידה בדוגמת, 3D משולב, מורכב מאוד מודרני MEMS / NEMS (מיקרו / nanoelectromechanical) התקנים.

"מתכות מטבעות (Cu, Ag, Au) עומדים לשחק תפקיד משמעותי גם טכנולוגיות חישה, איפה הם יהיו מכריעים שיפור האות כמו משטחים עוגן אלמנטים חישה אורגני. שימוש פלזמה להפקיד אלה מתכות כתהליך אלד מתרחב באופן דרסטי את טמפרטורת בתצהיר חלון, המתיר את העסקתו של מצעים רגישים כגון סיבים סיבים אופטיים שונה ופלסטיק. העיצוב של הכלי Picoplasma מאפשרת אחידות מעולה על פני שטח רחב בתצהיר, תוך מזעור הנזק המצע ממקור פלזמה ", קובע פרופ ' בארי מאוניברסיטת קרלטון.

, Picoplasma של Picosun חדשני ומהפכני "יון חופשי" מקור פלזמה מרחוק הושק רק לאחרונה לשוק זה כבר זכות הצלחה אדירה מלכתחילה, נבחר כבר בשלוש יבשות על ידי לקוחות מרכזיים.

Picosun אוי היא יצרנית פינלנד מבוסס גלובלית של המדינה-of-the-art אלד מערכות עבור יישומים מיקרו וננו טכנולוגיה, המייצג המשכיות על פני שלושה עשורים של תכנון ייעודי הכור בלעדי, אלד וייצור. Picosun מבוססת Espoo, פינלנד, מתקני הייצור שלה ממוקמים Kirkkonummi, פינלנד המטה האמריקני שלה בדטרויט, מישיגן. SUNALE של Picosun כלים אלד תהליך נמצאים בשימוש יומיומי שונים אוניברסיטאות ברמה העליונה, מכוני מחקר וחברות פרופיל גבוה על פני ארבע יבשות. Picosun אוי הוא חלק סטיבן תעשיות בע"מ אוי.

Last Update: 3. October 2011 07:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit