Posted in | Nanoelectronics

EV Όμιλος παρουσιάζει το πρώτο σύστημα συγκόλλησης για 450 χιλιοστά γκοφρέτες Χρησιμοποιώντας SOI υποστρώματα

Published on July 11, 2011 at 10:14 AM

EV Group (EVG) , ένας κορυφαίος προμηθευτής της συγκόλλησης πλακιδίων και λιθογραφικό εξοπλισμό για τις αγορές MEMS, η νανοτεχνολογία και ημιαγωγών, ανακοίνωσε σήμερα το πρώτο σύστημα συγκόλλησης στη βιομηχανία ημιαγωγών είναι για 450-mm διαμέτρου γκοφρέτες κατασκευασμένο από πυρίτιο επί μονωτικού (SOI) υποστρώματα .

Με βάση την ηγεσία της EVG κατά τη συγκόλληση πλακιδίων SOI, το νέο σύστημα - που ονομάστηκε το EVG850SOI/450 mm - δημιουργήθηκε για να υποστηρίξει και να διευκολύνει τη μετάβαση της βιομηχανίας σε 450-χιλιοστών γκοφρέτες από την τρέχουσα 300 χιλιοστά πρότυπο. Κορυφαίοι SOI γκοφρέτα πάροχος Soitec θα εγκαταστήσει, να δοκιμάσουν και πληρούν τις προϋποθέσεις της πρώτης EVG850SOI/450-mm σύστημα σε Grenoble, Γαλλία, την έδρα της. Η παράδοση είναι προγραμματισμένο για το φθινόπωρο 2011.

Για περισσότερα από 40 χρόνια, ο Νόμος του Moore είναι η πρωταρχική κινητήρια δύναμη για την καινοτομία στον κλάδο των ημιαγωγών. Τα οφέλη από την μείωση του κόστους ανά τρανζίστορ, καλύτερη απόδοση και αυξημένη λειτουργικότητα επιτρέψει αύξηση των προϋπολογισμών τρανζίστορ για καινοτόμα σχέδια. Επειδή IC κόστος ανά τετραγωνικό εκατοστό (cost/cm2) διπλασιάζεται περίπου κάθε δεκαετία, ωστόσο, η βιομηχανία έχει υποστεί συμπίπτει μετάβαση σε μέγεθος πλακιδίων κάθε οκτώ έως 10 ετών - συνεχίζοντας παράλληλα την κλίμακα των μεγεθών χαρακτηριστικό - για να παραμείνει στην πορεία του Μουρ Νόμος. SOI αναμένεται να διαδραματίσουν καταλυτικό ρόλο στην στροφή προς 450 mm, δεδομένου ότι όχι μόνο απαντήσεις περισσότερες από τις προκλήσεις κλιμάκωση, αλλά προσφέρει επίσης καλύτερη ισχύος / απόδοσης για την υπο-22-nm CMOS και 3D τεχνολογίες σε σύγκριση με παρόμοια γεωμετρίας χύμα CMOS.

Συγκόλλησης πλακιδίων είναι μια κρίσιμη τεχνική για κατασκευάζοντας SOI γκοφρέτες, δεδομένου ότι επιτρέπει την επίτευξη υψηλής ποιότητας, ενιαίο κρύσταλλο πυριτίου ταινίες σε ένα μονωτικό στρώμα για να διαμορφώσει SOI υποστρώματα. Το νέο EVG850SOI/450-mm σύστημα συγκόλλησης πλακιδίων αξιοποιεί δυνάμεις EVG στην τεχνολογία συγκόλλησης πλακιδίων για να δημιουργήσετε ένα πλήρως αυτοματοποιημένο εργαλείο για την κατασκευή επιπέδου παραγωγής του SOI γκοφρέτες. Επιπλέον, επειδή chipmakers θα χρειαστεί μια ενδιάμεση λύση για τη βελτιστοποίηση της παραγωγικότητας των υφιστάμενων 300-χιλιοστών ικανότητα ως τη μετάβαση στα 450 mm σε έσοδα τα επόμενα χρόνια, το σύστημα μπορεί να χρησιμεύσει ως εργαλείο γέφυρα, που επιτρέπει την επεξεργασία και των δύο μεγέθη πλακιδίων.

«Κάθε συνδετικό 300-χιλιοστών wafer SOI και σχεδόν το 100 τοις εκατό του συνόλου των γκοφρέτες SOI είναι κατασκευασμένο σε EVG συστήματα. Παραδώσαμε πρώτο σύστημα συγκόλλησης μας SOI, το 1994, και η παγκόσμια εγκατεστημένη βάση μας συνεχίζει να αυξάνεται με διευρύνθηκε έκδοση της SOI υποστρώματα», σημείωσε ο EV Ομάδα Εκτελεστικός Διευθυντής Τεχνολογίας Paul Lindner. "Ένα από τα πιο σημαντικά SOI κατασκευή διαδικασιών με βάση συγκόλλησης πλακιδίων είναι το επίπεδο του έξυπνου CutTM τη μεταφορά τεχνολογίας από Soitec, με τους οποίους EV Όμιλος έχει μια μακροχρόνια συνεργατική σχέση. Soitec είναι η ιδανική αρχή έγινε η πρώτη EVG 450-χιλιοστών SOI σύστημα συγκόλλησης πλακιδίων, και η αξιολόγησή τους από το άλφα-εργαλείο θα είναι πολύτιμη για τη βελτιστοποίηση των ενοτήτων του συστήματος. "

Το χιλιοστό EVG850SOI/450 αποτελείται από δύο ενότητες διαδικασία: καθαρισμός μονάδα καθαρισμού και προετοιμασίας των πλακιδίων πριν την επικόλληση πλακιδίων, καθώς και ένα SOI προ-συγκόλληση μονάδα. Στην προ-συγκόλληση ενότητας, είναι οι δύο γκοφρέτες πυριτίου ενώνονται είτε σε κενό ή σε ένα ατμοσφαιρικό θάλαμο. Το εργαλείο είναι εξοπλισμένο με state-of-the-art 450 χιλιοστά λιμάνια φόρτωσης και μπροστινό άνοιγμα ενοποιημένη λοβό (FOUPs). Τα περισσότερα από τα σωματίδια και τις δοκιμές μόλυνση μετάλλων ιόντων θα πραγματοποιηθεί σε 300-χιλιοστών γκοφρέτες λόγω της έλλειψης των 450-mm συστήματα μετρολογίας. Το πρώτο εργαλείο το 450-mm οπλοστάσιο EVG, η νέα bonder θα χρησιμεύσει ως το βασικό σημείο εκκίνησης για την παραγωγή των 450-mm γκοφρέτες SOI, και μπορούν να χρησιμοποιηθούν για την ανάπτυξη άλλων Ομίλου EV 450-χιλιοστών προϊόντα, όπως νάρθηκες μάσκα και συστήματα επικάλυψης. Η επέκταση του συστήματος με επιπλέον ενότητες σχεδιάζεται ως ένα περαιτέρω βήμα για την αύξηση της απόδοσης πλακιδίων.

Σημειώνεται Chief Operating Officer Paul Boudre για Soitec, "Soitec είναι πρόθυμος να θέση όσον αφορά τη μετάβαση 450 mm. Με την κυκλοφορία αυτού του νέου συστήματος, EV Group προσφέρει η βιομηχανία ημιαγωγών μια πολύ βιώσιμη λύση για να διευκολύνει τη μετάβαση στα 450-mm γκοφρέτες . Με το καθιερωμένο υλικό SOI μας διαδραματίζει όλο και σημαντικότερο ρόλο σε κατασκευαστικές επόμενης γενιάς ICs, ανυπομονούμε να συνεργαστούμε με EVG να εξασφαλίσει αυτό το νέο σύστημα είναι έτοιμο να εισέλθει κύρια παραγωγή του σε εύθετο χρόνο. "

Κατά τη διάρκεια της Semicon Δύση αυτή την εβδομάδα στο Σαν Φρανσίσκο, EV Group θα έχουν εκπροσώπους από την ομάδα του SOI και των εμπειρογνωμόνων συγκόλλησης πλακιδίων διαθέσιμο σε Booth # 1131 να μιλήσει με τους αναλυτές Τύπο, και οι πελάτες που ενδιαφέρονται να μάθουν περισσότερα για το νέο σύστημα και EVG850SOI/450-mm δυνατότητές της για τη γεφύρωση και τη δυνατότητα των 300-mm έως 450-mm μετάβαση wafer. Επιπλέον, ο Paul EVG του Lindner θα είναι μέρος της BrightSpots Φόρουμ της ΝΕΠ με 450 χιλιοστά που θα πραγματοποιηθεί απόψε στις 6:00 μ.μ. (PST) - όπου θα αναφερθώ σε μερικές από τις προσπάθειες που βρίσκονται σε εξέλιξη, τόσο σε συλλογικό όσο και ατομικά, για την ενίσχυση των 300 χιλιοστών αποτελεσματικότητα κατασκευής καθώς επίσης θα επιτρέψει τη μετάβαση του κλάδου σε 450 χιλιοστά γκοφρέτες. Η εκδήλωση είναι ανοικτή στα μέσα ενημέρωσης και είναι προσβάσιμες ηλεκτρονικά, επιτρέποντας στους συμμετέχοντες μια μοναδική ευκαιρία να αποκτήσουν βαθύτερη γνώση των προκλήσεων και των ευκαιριών που σχετίζονται με 450 mm, και θέτουν ερωτήσεις απευθείας σε κάποιο από τους σημαντικότερους ειδικούς στον τομέα.

Last Update: 5. October 2011 23:15

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit