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James Watt Nanofabrication Centre ajoute une Oxford Instruments Plasma ICP système etch à son arsenal

Published on July 11, 2011 at 6:55 PM

Le Centre James Watt Nanofabrication à Glasgow, Royaume-Uni, a ajouté un PlasmaPro System100 ICP système plasma etch à sa base installée existante de Oxford Instruments etch et des outils de déposition. Le PlasmaPro System100 ICP sera utilisé pour graver des matériaux semi-conducteurs composés utilisés dans des applications telles que l'optoélectronique, les ondes millimétriques et térahertz, le génie biologique, la biotechnologie, laboratoire-sur-une-puce de récolte d'énergie et le photovoltaïque.

Mark Vosloo, directeur ventes et marketing chez commentaires Oxford Instruments, «En tant qu'entreprise Oxford Instruments se concentre sur le développement d'outils de pointe pour la recherche et développement, et ce afin de système supplémentaires pour les outils d'Oxford Instruments souligne notre engagement à fournir le matériel de choix pour la recherche l'Université de Glasgow. "

"Nous avons travaillé en étroite collaboration avec Oxford Instruments depuis de nombreuses années, en utilisant leurs systèmes de gravure et de dépôt avec succès pour notre recherche.", A déclaré le professeur Douglas Paul, professeur de dispositifs semi-conducteurs et directeur du Centre James Watt Nanofabrication, "Nous avons placé cette commande récente d'un système supplémentaire d'Oxford Instruments alors que nous continuons à être impressionnés par la flexibilité des outils et la performance. Nous avons utilisé leurs outils pour de nombreuses années, et continuent à les utiliser pour développer de nouveaux procédés de gravure et de dépôt pour la nanofabrication comme nous l'avons poussée technologique en dessous de 5 nm tailles fonction.

En outre, le maintien de nos équipements est essentielle afin de maximiser notre utilisation et d'investissement, et nous sommes extrêmement satisfaits des niveaux compatibles élevé de soutien que nous recevons d'Oxford Instruments "Oxford vise à poursuivre le développement responsable et une meilleure compréhension de notre monde par la science et la technologie, l'innovation pour transformer la science à puce dans le monde des produits de classe qui appuient la recherche et l'industrie.

Last Update: 21. October 2011 10:23

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