James Watt Nanofabrication 센터는 그것의 조병창에 옥스포드 계기 ICP 플라스마 식각 시스템을 추가합니다

Published on July 11, 2011 at 6:55 PM

글래스고, UK에 있는 James Watt Nanofabrication 센터는 옥스포드 계기 식각과 공술서 공구의 그것의 존재 설치된 기지에, PlasmaPro System100 ICP 플라스마 식각 시스템을 추가했습니다. PlasmaPro System100 ICP는 광전자공학과 같은 응용에서 mm 파 & terahertz, 생의학 공학, 생물공학, 실험실 에 칩, 에너지 가을걷이 및 photovoltaics 이용된 합성 반도체 물자를 식각하기 위하여 이용될 것입니다.

그리고 옥스포드 계기 공구를 위한 이 추가 시스템 명령이 글래스고의 대학을 선택의 연구 장비 제공에 우리의 투입을." 강조하는 회사 옥스포드 계기가 연구와 개발을 위한 발전 앞 가장자리 공구에 집중된 대로 옥스포드 계기 코멘트에 Vosloo, 판매 및 마케팅 디렉터를 표를 하십시오, ",

"우리는 수년간 옥스포드 계기로 바싹 작동해, 그들의 식각과 공술서 시스템을 우리의 연구를 위해 성공적으로 이용하. ", 교수를 말했습니다 더글러스 폴 교수 그리고 James Watt Nanofabrication 센터의 반도체 소자의 디렉터, 우리가 공구의 융통성 및 성과에 의해 감명주는 것을 계속한 대로 "우리는 추가 옥스포드 계기 시스템을 위한 이 최근 주문했습니다. 우리는 우리가 5개 nm 최소 배선 폭 이하 기술을 밀 때 수년간 그들의 공구를 사용하고, nanofabrication를 위한 새로운 식각과 공술서 프로세스를 개발하기 위하여 그(것)들을 이용하도록 계속합니다.

추가적으로, 우리의 장비를 유지하는 것은 우리 사용법 및 투자를 확대하게 생명 이고, 우리는 과학과 기술을 통해 우리의 세계의 책임있는 발달 그리고 연구와 기업을 지원하는 세계적인 제품으로 지능적인 과학을 돌기 위하여 깊은 이해를 추격하기 위하여 우리가 옥스포드 계기에서" 옥스포드 계기 목표 수신하는 지원의 일관된 상부로 혁신을 사용하여 극단적으로, 만족됩니다.

Last Update: 12. January 2012 16:25

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