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Posted in | Nanofabrication

Masken-Management-Anlage SUSS MicroTec Produkteinführungs-Zuerst Holistische In-Tolle EUVL

Published on July 13, 2011 at 8:48 PM

Heute SUSS MicroTec, ein globaler Lieferant des Geräts und der Prozesslösungen für die Halbleiterindustrie und die in Verbindung stehenden Märkte, startete sein neues MaskTrack Pro-InSync - das erste holistische in-tolle EUVL-Maskenmanagement-Angebot. MTP InSync ist ein unabhängiges oder gebündeltes Verladesystem, das nahtlos Maskenreinigung, -c$handhaben, -inspektion und -speicher in einer einzelnen esteuerten Umgebung synchronisiert. MTP InSync funktioniert in einer nullpartikeleinfuhrüberwachung, die perfekte Maskenintegrität beibehält, wenn es die Vakuumumgebung des EUVL-Scanners einträgt.

„EUV-Lithographie legt ungeheure Nachfragen auf Maskenintegrität an der Punkt-vonberührung,“ sagte Frank P. Averdung, Präsident und Vorstandsvorsitzende von SUSS MicroTec AG. „Nur MaskTrack Pro-InSync, entbindet die Technologie, die notwendig ist, eine nullpartikelmasken-Managementumgebung zu erzielen und aktiviert Chip-Hersteller, wichtige Lithographiescanner-Verfügbarkeit auszunützen. Diese hochmoderne Maskenmanagementanlage legt unsere anhaltende Verpflichtung zum Versehen unserer Abnehmer mit einer Maskenintegritätsinfrastruktur für Lithographie der Nächsten Generation.“ fest

Das MaskTrack Pro-InSync ist das erste und nur die Maskenmanagementanlage erhältlich im Markt, der direkt an die spezifische EUV-DoppelHülse in einer voll-kontrollierten Umgebung anschließen kann. Konstruierte, Maskenreinigung, Maskenübertragung und Speicherung der wichtigen inneren Hülse in einer ursprünglichen Umgebung zu bündeln, sowie stellt die wahlweiseintegration eines PartikelErfassungssystems und inneren der Hülsenreinigung, MTP InSync einen vereinheitlichten Anflug zum Maskenmanagement während der Lebenszeit der Maske zur Verfügung. Auslegung MTP InSyncs erlaubt die direkte Übertragung der DoppelHülse vom Scanner auf das fadenkreuz-Reinigungshilfsmittel MaskTrack Pro.

Versand des ersten MTP InSync zum imec in Belgien wird im August 2011 eingeplant.

Last Update: 12. January 2012 16:20

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