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SUSS MicroTec Lancement holistique First In-Fab Système de gestion EUVL Masque

Published on July 13, 2011 at 8:48 PM

Aujourd'hui SUSS MicroTec , un fournisseur mondial de solutions d'équipement et de processus pour l'industrie des semiconducteurs et des marchés connexes, a lancé son nouveau MaskTrack Pro InSync - le premier dans holistique-Fab offre de gestion de EUVL masque. PSG InSync est un système de manutention autonomes ou en cluster qui synchronise parfaitement nettoyer le masque, la manipulation, l'inspection et le stockage dans un seul environnement contrôlé. PSG InSync fonctionne dans un régime de particules nulle maintien de l'intégrité masque parfait en entrant dans le cadre vide du scanner EUVL.

"EUV endroits lithographie exigences considérables sur l'intégrité masque à point de l'exposition", a déclaré Frank P. Averdung, Président et CEO de SUSS Microtec AG. "Seuls MaskTrack Pro InSync, fournit la technologie nécessaire pour réaliser un environnement de particules nulle masque de la gestion, les fabricants de puces permettant de capitaliser sur la disponibilité de lithographie scanneur important. Ce state-of-the-art système de masque de gestion établit notre engagement continu à fournir à nos clients une l'infrastructure de l'intégrité de masque pour la lithographie de nouvelle génération. "

Le MaskTrack Pro est le système InSync premier masque et seulement de gestion disponibles dans le marché qui peut s'interfacer directement avec le Pod EUV spécifiques double dans un environnement entièrement contrôlé. Conçu pour masquer pôle de nettoyage de transfert de masque, et le stockage de la gousse importante intérieur dans un environnement vierge, ainsi que l'intégration optionnelle d'un système de détection de particules et de nettoyage pod intérieure, MTP InSync fournit une approche unifiée de gestion de masquer toute la durée de vie du masque. La conception du PSG InSync permet le transfert direct de la nacelle double à partir du scanner à l'outil de nettoyage Pro MaskTrack réticule.

Expédition de la première MTP InSync à l'IMEC en Belgique est prévue en août 2011.

Last Update: 16. October 2011 00:23

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