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SUSS MicroTec लॉन्च पहले समग्र में फैब EUVL मास्क प्रबंधन प्रणाली

Published on July 13, 2011 at 8:48 PM

SUSS MicroTec आज पहली समग्र में फैब EUVL मुखौटा प्रबंधन की पेशकश, अर्धचालक उद्योग से संबंधित बाजारों के लिए एक उपकरण और प्रक्रिया समाधान की वैश्विक सप्लायर, अपनी नई MaskTrack प्रो InSync का शुभारंभ किया. एमटीपी InSync एक खड़े अकेले या संकुल हैंडलिंग प्रणाली है, जो मूल एक एक नियंत्रित वातावरण में मुखौटा सफाई, से निपटने, निरीक्षण, और भंडारण सिंक्रनाइज़ है. एमटीपी InSync एक शून्य कण शासन में संचालित सही मुखौटा अखंडता को बनाए रखने जब EUVL स्कैनर के निर्वात पर्यावरण में प्रवेश.

", लिथोग्राफी स्थानों बिंदु के प्रदर्शन पर मुखौटा अखंडता पर जबरदस्त मांग EUV" फ्रैंक पी. Averdung, राष्ट्रपति और SUSS MicroTec एजी के सीईओ ने कहा. "केवल MaskTrack प्रो InSync, एक शून्य कण मुखौटा पर्यावरण प्रबंधन को प्राप्त करने के लिए आवश्यक प्रौद्योगिकी उद्धार, chipmakers सक्षम करने के लिए महत्वपूर्ण लिथोग्राफी स्कैनर उपलब्धता पर भुनाने यह राज्य के-the-कला मुखौटा प्रबंधन प्रणाली एक साथ हमारे ग्राहकों को प्रदान करने के लिए हमारी जारी प्रतिबद्धता स्थापित मुखौटा अखंडता बुनियादी ढांचे अगली पीढ़ी लिथोग्राफी के लिए "

MaskTrack प्रो InSync बाजार में पहली और एकमात्र मुखौटा प्रबंधन प्रणाली उपलब्ध है कि सीधे एक पूरी तरह नियंत्रित वातावरण में विशिष्ट EUV दोहरी Pod साथ इंटरफेस कर सकते है. एमटीपी InSync क्लस्टर मुखौटा सफाई, मुखौटा और एक प्राचीन वातावरण में महत्वपूर्ण आंतरिक फली, के रूप में के रूप में अच्छी तरह से एक कण का पता लगाने प्रणाली और भीतर फली सफाई की वैकल्पिक एकीकरण के हस्तांतरण का भंडारण करने के लिए डिज़ाइन के जीवन भर प्रबंधन मुखौटा के लिए एक एकीकृत दृष्टिकोण प्रदान करता है मुखौटा. एमटीपी InSync डिजाइन MaskTrack प्रो लजीला व्यक्ति सफाई उपकरण स्कैनर से दोहरी Pod का सीधा हस्तांतरण की अनुमति देता है.

बेल्जियम में पहली एमटीपी imec InSync की शिपमेंट अगस्त 2011 में निर्धारित है.

Last Update: 9. October 2011 05:10

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