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Posted in | Nanofabrication

最初に SUSS MicroTec の進水全体内部すてきな EUVL マスクの管理システム

Published on July 13, 2011 at 8:48 PM

今日 SUSS MicroTec の半導体工業および関連の市場のための装置そしてプロセス解決の全体的な製造者は、新しい MaskTrack プロ InSync を進水させました最初の全体内部すてきな EUVL マスク管理提供 -。 MTP InSync は継ぎ目無く単独制御の環境のマスクのクリーニング、処理、点検および記憶を同期するスタンドアロンか群がらせた処理システムです。 EUVL のスキャンナーの真空の環境を入力するとき MTP InSync は完全なマスクの保全を維持するゼロ粒子の政体で動作します。

「EUV 石版印刷ポイントの露出にマスクの保全に途方もない要求を置きます」、はフランク P. Averdung、 SUSS の MicroTec AG の社長兼最高経営責任者を言いました。 「MaskTrack だけプロ InSync、ゼロ粒子マスク管理環境を達成するのに必要な技術を提供しま重要な石版印刷のスキャンナーのアベイラビリティを生かすことをチップメーカーが可能にします。 この最新式マスクの管理システムは次世代の石版印刷にマスクの保全の下部組織を私達の顧客に与えることに確立します私達の継続的責任を」。

MaskTrack プロ InSync は完全制御の環境の特定の EUV の二重ポッドによって直接インターフェイスできる市場で使用できる第 1 およびマスクの管理システムだけです。 原始的な環境の重要な内部のポッドのマスクのクリーニング、マスクの転送および記憶を群がらせるように設計しました、また粒子の検出システムおよび内部のポッドのクリーニング、 MTP InSync の任意選択統合はマスクの寿命全体のマスク管理に統一されたアプローチを提供します。 MTP InSync デザインはスキャンナーからの MaskTrack のプロレチクルのクリーニングのツールへの二重ポッドの直接転送を可能にします。

ベルギーの imec への最初の MTP InSync の郵送物は 2011 年 8 月にスケジュールされます。

Last Update: 12. January 2012 16:24

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