Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Nanofabrication

SUSS Microtec lanceren eerste Holistic In-Fab EUVL Mask Management System

Published on July 13, 2011 at 8:48 PM

Vandaag de dag SUSS Microtec , een wereldwijde leverancier van apparatuur en oplossingen voor de halfgeleider-industrie en aanverwante markten, lanceerde haar nieuwe MaskTrack Pro InSync - het eerste holistische in-fab EUVL masker beheer aanbieden. MTP InSync is een stand-alone of geclusterd handling systeem dat naadloos masker reiniging, behandeling, controle en de opslag synchroniseert in een gecontroleerde omgeving. MTP InSync opereert in een nul-deeltje regime behoud van een perfecte masker integriteit bij het betreden van het vacuüm omgeving van de EUVL Scanner.

'EUV-lithografie plaatsen enorme eisen aan de integriteit van het masker op point-of-exposure ", zegt Frank P. Averdung, President en CEO van SUSS Microtec AG. "Alleen MaskTrack Pro InSync, levert de technologie die nodig is om een ​​nul-deeltje masker beheer van milieu te bereiken, waardoor chipmakers om te profiteren van belangrijke lithografie scanner beschikbaarheid. Deze state-of-the-art masker management systeem stelt onze voortdurende toewijding om onze klanten met een masker integriteit van de infrastructuur voor de Next Generation Lithography. "

De MaskTrack Pro InSync is het eerste en enige masker management systeem beschikbaar in de markt die direct kan communiceren met de specifieke EUV Dual Pod in een volledig gecontroleerde omgeving. Ontworpen om cluster masker reiniging, masker overdracht en de opslag van de belangrijke innerlijke pod in een ongerepte omgeving, evenals het optionele integratie van een deeltje detectiesysteem en innerlijke reiniging pod, MTP InSync biedt een uniforme aanpak van het beheer masker gedurende de hele levensduur van de masker. MTP InSync het ontwerp staat de directe overdracht van de Dual Pod van de scanner naar de MaskTrack Pro dradenkruis schoonmaak tool.

Verzending van de eerste MTP InSync IMEC in België is gepland in augustus 2011.

Last Update: 3. October 2011 17:20

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit