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Sistema de Gestão Em-Fabuloso Holístico da Máscara Primeiramente EUVL de SUSS MicroTec do Lançamento

Published on July 13, 2011 at 8:48 PM

Hoje SUSS MicroTec, um fornecedor global do equipamento e das soluções do processo para a indústria do semicondutor e os mercados relacionados, lançou seu MaskTrack novo Pro InSync - o primeiro oferecimento em-fabuloso holístico da gestão da máscara de EUVL. MTP InSync é um sistema de manipulação autônomo ou aglomerado que sincronize sem emenda a limpeza, a manipulação, a inspecção e o armazenamento da máscara em um único ambiente controlado. MTP InSync opera-se em um regime zero da partícula que mantem a integridade perfeita da máscara ao incorporar o ambiente do vácuo do Varredor de EUVL.

De “a litografia EUV coloca procuras tremendas na integridade da máscara na ponto--exposição,” disse Frank P. Averdung, Presidente e director geral MicroTec AG de SUSS. “Somente MaskTrack Pro InSync, entrega a tecnologia necessária conseguir um ambiente zero da gestão da máscara da partícula, permitindo fabricantes de chips de capitalizar na disponibilidade importante do varredor da litografia. Este sistema de gestão avançado da máscara estabelece nosso comprometimento continuado a fornecer nossos clientes uma infra-estrutura da integridade da máscara para a Litografia da Próxima Geração.”

O MaskTrack Pro InSync é o primeiro e somente o sistema de gestão da máscara disponíveis no mercado que pode conectar directamente com a Vagem Dupla específica de EUV em um ambiente completo-controlado. Projectou aglomerar a limpeza da máscara, a transferência da máscara e o armazenamento da vagem interna importante em um ambiente pristine, assim como a integração opcional de um sistema de detecção da partícula e de uma limpeza interna da vagem, MTP InSync fornece uma aproximação unificada à gestão da máscara durante todo a vida da máscara. O projecto de MTP InSync permite transferência directa da Vagem Dupla do varredor ferramenta da limpeza do retículo de MaskTrack à Pro.

A Expedição do primeiro MTP InSync ao imec em Bélgica é programada em agosto de 2011.

Last Update: 12. January 2012 16:31

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