Posted in | Nanofabrication

Barkassen Holistic I-Fab EUVL för SUSS MicroTec Maskerar Först LedningSystemet

Published on July 13, 2011 at 8:48 PM

I Dag SUSS MicroTec, en global leverantör av släkta utrustning och processaa lösningar för halvledarebranschen och marknadsför, lanserat dess nya MaskTrack Pro InSync - de första holistic i-fab EUVLNA maskerar att erbjuda för ledning. MTP InSync är ett fristående, eller det samla i en klunga brukssystemet, som synkroniserar sömlöst, maskerar lokalvård, bruk, kontroll och lagring i singeln kontrollerad miljö. MTP InSync fungerar i nollunderhålla för partikelstyre görar perfekt maskerar fullständighet, när det skriver in dammsugamiljön av EUVL-Bildläsaren.

”Förlägger EUV-lithography enorma begärningar maskerar på fullständighet på peka-av-exponering,”, sade Franka P. Averdung, President och VD av SUSS-MicroTec AG. ”Endast levererar MaskTrack Pro InSync, teknologin som är nödvändig att uppnå en nollpartikel, maskerar ledningmiljön och att möjliggöra chipmakers för att kapitalisera på viktig lithographybildläsartillgänglighet. Denna statlig-av--konst maskerar ledning som systemet upprättar vår fortsatte förpliktelse till att ge våra kunder med en maskerafullständighetsinfrastruktur för Nästa GenerationLithography.”,

MaskTracken Pro InSync är första och maskerar endast ledningsystemet som är tillgängligt i marknadsföra som kan ha kontakt direkt med DubbelFröskidan för närmare detalj EUV i enkontrollerad miljö. Planlade att samla i en klunga maskerar lokalvård, maskerar överföring och lagring av den viktiga inre fröskidan i en pristine miljö, såväl som den valfria integrationen av ett partikelupptäcktssystem och en inre fröskidalokalvård, MTP InSync ger ett enat att närma sig för att maskera ledningalltigenom livstiden av maskera. Designen för MTP InSyncs låter riktaöverföringen av DubbelFröskidan från bildläsaren till MaskTracken som Pro reticlelokalvård bearbetar.

Sändningen av den första MTPEN InSync till imec i Belgien är planlagd i Augusti 2011.

Last Update: 27. January 2012 07:36

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit