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Posted in | Microscopy

ブルカーは、ウェーハ測定のディメンションエッジPSS AFMを発表

Published on August 17, 2011 at 2:53 AM

キャメロンチャイによって

、ブルカーは次元エッジが高輝度発光ダイオード(HB - LED)を製造するために、サファイア加工基板(PSS)の測定のために原子間力顕微鏡(AFM)をPSS分子と材料研究のための科学的なソリューションと機器のサプライヤーを導入しています。

AutoMETソフトウェアと9ウェーハチャックを持つディメンションのエッジPSS

次元エッジPSSは、具体的にだけでなく、より従来の光学技術よりも解像度を提供する洗練されたPSSのプロセスを処理するために、正確な3次元形状データを提供するために設計された使いやすいAFM生産環境です。システムが出力、自動レポート生成、データ分析、情報の収集と生産の計測への応用2〜6"ウェハ上で測定を運びます。また、それはLED R&Dに必要なAFMの機能を向上させる

システムは、HB - LEDの生産者の製造要件を満たすために特に設計されたBrukerのAutoMETのソフトウェアパッケージとの組み合わせで使用可能です。各ウェハの複数のポイントで一から九までウエハの測定を可能にするソフトウェアを設定することが可能です。また、エンジニアや技術者のオペレータへの合格/不合格インジケータに測定データを提供し、自動化されたデータの分析とレポート生成を可能にすることによって製造歩留まりを大きく向上させます。

マークR.ムンク、ブルカーナノ表面部門の社長は、HB - LEDのメーカーが重要な生産プロセスを改善するためにPSSの技術を求めていると述べていると次元エッジPSS AFMは、これらの強化されたプロセスを監視するのに便利です。システムの比類ない分解能、精度と測定速度が速いプロセスのフィードバックを提供する、と彼は付け加えた。

デイヴィッドV.ロッシ、ブルカーのAFMのビジネスの副社長とGMは、次元エッジPSSの立ち上げ、同社が製造し、研究環境の両方のためにAFMの性能とアプリケーションを改善するための献身を示すために続けると述べている。

ソース: http://www.bruker-axs.com/

Last Update: 9. October 2011 04:02

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