Posted in | Nanoelectronics

جيش تحرير كوسوفو ، Tencor صحفية العيب يفر E - الحزمة استعراض النظام لإنتاج الرقائق

Published on August 17, 2011 at 3:13 AM

بواسطة كاميرون تشاي

وقد أدخلت في جيش تحرير كوسوفو ، Tencor 7000 EDR ، وهو شعاع الإلكترون عيب رقاقة (البريد شعاع) نظام المراجعة ، على السماح إنتاج الرقائق في الجهاز 20nm العقد أو أقل.

البريد الحزمة العيب مراجعة نظام التصنيف ويفر

ميزات أداة ضمان مستوى عال من الإنتاجية والحساسية ، ويسمح التصوير عيب كذلك يتغلب على التحديات لتصنيف المستوى اليوم من التقدم التكنولوجي ، حيث العائد قتل أخطاء قد تكون دقيقة و10nm ، أو قد تكون موجودة في أسفل حفرة عميقة أو الخندق. وEDR - 7000 يحدد باستمرار أخطاء فيما يتعلق عتبات حساسية رقاقة نظم التفتيش العيب "التي لا سيما بالنسبة للعقدة 20nm. التفتيش رقاقة منقوشة سلسلة تشمل SP3 Surfscan ، أطلقت الشهر الماضي ، ونماذج جيش تحرير كوسوفو ، Tencor المرتقبة.

نظام EDR - 7000 يتضمن العديد من الميزات المتقدمة لتحسين قدراتها بالمقارنة مع النظام الحالي لتوليد 5210 - EDR. اشتماله اختبارها ميدانيا ، الجيل الثالث من العمود الغمر البريد شعاع تمكن دقة فائقة والتصوير الطبوغرافي المتقدمة. تحسنت الاهتزاز والعزل ونظام المسرح لتقديم تقدما بمقدار ثلاثة أضعاف في تنسيق دقيق والسماح تصل إلى تحسن أربعة أضعاف في سرعة استعراض عيب.

ميزات هذا النظام تقدما كبيرا لحساسية رقاقة العارية العيوب التي تتضمن تخصيب اليورانيوم لتحليل التشتت للطاقة الأشعة السينية (EDX) التكوين. وهو يتضمن رواية استعراض عيب شبكاني وضع لتمكين التحقيق في أسرع رقاقة في المواقع التي قد تكون طبعت العيوب. أنها تسمح عملية توصيف النافذة في الإنتاجية زيادة كبيرة. فهي تتميز أيضا الجهد وضع التباين التصوير لصالح مراجعة البريد شعاع التفتيش رقاقة من المعلومات والقدرة على تصنيف عيب حاليا لتعزيز تطبيقها للعمل التصوير. وقد وضعت العديد من الشركات المصنعة بما في ذلك المعدات ومسبك ، والذاكرة ، والمنطق طلبات EDR - 7000 نظم.

المصدر : http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 26. November 2011 17:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit