Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
Posted in | Nanoelectronics

KLA-Tencor Release/versión el Sistema de la Revista del Defecto del Fulminante del E-Haz para la Producción de la Viruta

Published on August 17, 2011 at 3:13 AM

Por Cameron Chai

KLA-Tencor ha introducido el eDR 7000, un sistema de la revista del defecto del fulminante del electrón-haz (e-haz), para permitir la producción de la viruta en los nodos o menos del dispositivo 20nm.

Revista del Defecto del Fulminante del e-Haz y Sistema de Clasificación

Las características de la herramienta aseguran de alto nivel de la producción y de la sensibilidad y permiten proyección de imagen del defecto así como vencen los retos de la clasificación para el nivel de hoy de adelantos tecnológicos, donde las averías de la rendimiento-matanza pueden ser tan minuciosas como 10nm, o pueden estar presentes en la parte inferior de un agujero profundo o de un foso. El eDR-7000 determina constantemente averías en cuanto a los umbrales de la sensibilidad de sistemas de inspección del defecto del fulminante hechos determinado para el nodo 20nm. Las series modeladas del examen del fulminante incluyen el Surfscan SP3, lanzado el mes pasado, y los modelos próximos de KLA-Tencor.

El sistema eDR-7000 incluye varias características avanzadas para mejorar sus capacidades cuando está comparado al sistema de la presente-generación eDR-5210. Incorpora la olumna probada en práctica, de tercera generación de la inmersión del e-haz que activa la resolución superior y la proyección de imagen topográfica avance. Ha mejorado el sistema del vibración-aislamiento y del escenario para rendir un adelanto triple en la precisión coordinada y permitir hasta una mejoría cuádruple en la velocidad del repaso del defecto.

Las características de Este sistema avance importante la sensibilidad para los defectos descubiertos del fulminante que incluyen el enriquecimiento al análisis de la composición energía-dispersiva de la radiografía (EDX). Incorpora el modo nuevo de la revista del defecto del retículo para activar una investigación más rápida de los sitios del fulminante en los cuales los defectos pueden ser impresos. Permite la caracterización de proceso de la ventana en una producción considerablemente creciente. También ofrece el modo de la proyección de imagen del voltaje-contraste para favorecer revista de la información del examen del fulminante del e-haz y tiene la capacidad de la clasificación fuera de línea del defecto para aumentar su aplicación para el trabajo de la proyección de imagen. Varios fabricantes incluyendo el equipo, la fundición, la memoria, y la lógica han puesto las pedidos para los sistemas eDR-7000.

Fuente: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 12. January 2012 14:42

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit