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Posted in | Nanoelectronics

Système de Révision de Défaut de Disque d'E-Poutre de Releases de KLA-Tencor pour la Production de Puce

Published on August 17, 2011 at 3:13 AM

Par Cameron Chai

KLA-Tencor a introduit l'eDR 7000, un système de révision de défaut de disque d'électron-poutre (e-poutre), pour permettre la production de puce aux noeuds ou à moins du dispositif 20nm.

Révision de Défaut de Disque d'e-Poutre et Système de Catégorie

Les caractéristiques techniques d'outil assurent le haut niveau du débit et de la sensibilité et permettent la représentation de défaut ainsi que surmontent des défis de catégorie pour le niveau d'aujourd'hui des progrès technologiques, où les erreurs de rendement-massacre peuvent être aussi minutieux que 10nm, ou peuvent être présentes au bas d'un trou profond ou d'une tranchée. L'eDR-7000 recense chronique des erreurs en ce qui concerne des seuils de la sensibilité de systèmes de contrôle de défaut de disque effectués en particulier pour le noeud 20nm. La suite modelée d'inspection de disque comprend le Surfscan SP3, lancé le mois dernier, et modèles de KLA-Tencor les prochains.

Le système eDR-7000 comprend plusieurs fonctionnalité avancée pour améliorer ses capacités si comparé au système du l'actuel-rétablissement eDR-5210. Il comporte le fléau mis au point chez le client et troisième génération de submersion d'e-poutre qui active la définition supérieure et la représentation topographique avancée. Il a amélioré le système de vibration-isolement et de stade pour rendre un avancement triple dans la précision du même rang et laisser jusqu'à une amélioration quadruple dans la vitesse de la révision de défaut.

Ce les fonctionnalités du système ont avancé de manière significative la sensibilité pour les défauts nus de disque qui comprennent l'enrichissement à l'analyse de composition énergie-dispersive du rayon X (EDX). Elle comporte le mode nouveau de révision de défaut de réticule pour activer une enquête plus rapide sur les sites de disque sur lesquels les défauts peuvent être estampés. Elle permet la caractérisation de processus d'hublot à un débit considérablement accru. Elle également comporte le mode de représentation de tension-contraste pour favoriser la révision de l'information de l'inspection de disque d'e-poutre et a la capacité de la catégorie hors ligne de défaut pour augmenter sa demande de travail de représentation. Plusieurs constructeurs comprenant le matériel, la fonderie, la mémoire, et la logique ont passé des commandes de les systèmes eDR-7000.

Source : http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 12. January 2012 15:42

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