Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanoelectronics

KLA-Tencor Выпускает Систему Просмотрения Дефекта Вафли E-Луча для Продукции Обломока

Published on August 17, 2011 at 3:13 AM

Камероном Chai

KLA-Tencor ввело eDR 7000, система просмотрения дефекта вафли луча электронов (e-луча), для позволять продукции обломока на узлах или прибора 20nm.

Просмотрение и Система Классификации Дефекта Вафли e-Луча

Характеристики инструмента обеспечивают высокий уровень объём и чувствительности и позволяют воображению дефекта так же, как отжимают возможности классифицирования для сегодняшнего уровня технологических выдвижений, где недостатки выход-умерщвления могут быть как мельчайши как 10nm, или могут присутствовать на дне глубокого отверстия или шанца. EDR-7000 последовательно определяет недостатки по отношению к пределам чувствительности систем контроля дефекта вафли сделанным в частности для узла 20nm. Сделанные по образцу серии осмотра вафли включают Surfscan SP3, запущенное последний месяц, и модели KLA-Tencor будущие.

Система eDR-7000 включает несколько продвинутых особенностей для того чтобы улучшить свои возможности сравнивано к системе присутствующ-поколения eDR-5210. Она включает пол-испытанную, третье поколение колонку погружения e-луча которая включает главное разрешение и выдвинутое топографическое воображение. Она улучшила систему вибраци-изоляции и этапа для представлять троекратное выдвижение в координированной точности и позволять до четырехкратного улучшения в скорости рассматривать дефекта.

Характеристики Этой системы значительно выдвинули чувствительность для чуть-чуть дефектов вафли которые включают обогащение к анализу энерги-дисперсивного состава рентгеновского снимка (EDX). Он включает романный режим просмотрения дефекта перекрещения для включать более быстрое исследование мест вафли на которых дефекты могут быть напечатаны. Он позволяет отростчатой характеризации окна на значительно увеличенном объём. Он также отличает режимом воображения напряжени тока-контраста для благоволить к просмотрению данным по осмотра вафли e-луча и имеет возможность автономного классифицирования дефекта для того чтобы увеличить свое применение для работы воображения. Несколько изготовлений включая оборудование, плавильню, память, и логику сделали заказ заказы для систем eDR-7000.

Источник: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 12. January 2012 15:56

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit