Site Sponsors
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
Posted in | Nanoelectronics

KLA-Tencor Frigörare E-Strålar Rånet Hoppar av Granskar Systemet för Gå i flisor Produktion

Published on August 17, 2011 at 3:13 AM

Vid Cameron Chai

KLA-Tencor har introducerat eDRen 7000, hoppar av ettstråla (e-stråla), rån granskar systemet, for låta gå i flisor produktionen på knutpunkterna eller mindre för apparat 20nm.

E-Stråla Rånet Hoppar av Granskar och KlassifikationsSystemet

Bearbetasärdragen ser till kick - jämna av genomgång och känslighet och låter hoppar av att avbilda såväl som övervinner klassifikationsutmaningar för dagens jämnar av teknologiska befordringar, var avkastning-dödandet kritiserar kan vara så minimalt som 10nm eller kan vara närvarande längst ner av ett djupt spela golfboll i hål eller diket. Den konsekvent eDRen-7000 identifierar kritiserar med hänsyn till rånet ingångar för känsligheten hoppar av för kontrollsystem som' göras bestämt för knutpunkten 20nm. De mönstrade rånkontrollserierna inkluderar Surfscanen SP3 som lanseras den sist månaden, och kommande KLA-Tencors modellerar.

Systemet eDR-7000 inkluderar flera avancerade särdrag för att förbättra dess kapaciteter, när det jämförs till gåva-utvecklingen eDR-5210 systemet. Det inkorporerar sätta intestat, e-strålar tredje-utvecklingen immersionkolonnen som möjliggör överlägsen upplösning och avancerat topographic avbilda. Den har förbättrat vibration-isolering och arrangerar systemet för tolkning enveck befordran i koordinerad precision, och låta enveck förbättring i rusa av hoppa av upp till att granska.

Detta system presenterar den markant avancerade känsligheten för kalt rån hoppar av som inkluderar anrikning till analysen av energi-dispersive sammansättning för röntgenstrålen (EDX). Det inkorporerar den nya reticlen hoppar av granskar funktionsläget för att möjliggöra mer snabb utredning av rånplatser som hoppar av på kan skrivas ut. Det låter processaa fönsterkarakterisering på en betydligt ökande genomgång. Det presenterar också spänning-kontrast som avbildar funktionsläget för att favorisera, e-strålar rånkontrolls information granskar och har kapaciteten av offline att hoppa av klassifikation för att förhöja dess applikation för att avbilda arbete. Utrustning, gjuterit, minnet och logik för Flera producenter har inklusive förlagt beställer för system eDR-7000.

Källa: http://www.kla-tencor.com/

Last Update: 27. January 2012 08:19

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit