Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

Uusi valmistustekniikka Tuottaa Chip Ominaisuudet niin pieni kuin 10nm

Published on September 1, 2011 at 9:57 AM

Valmistus nanomittakaavan laitteita - transistorit tietokone-sirut, optiikan viestinnän pelimerkkejä, mekaanisten järjestelmien bioanturit mikrofluidinen ja Micromirror chips - vielä riippuu ylivoimaisesti siitä tekniikkaa kutsutaan fotolitografia. Mutta lopulta, koko laitteiden fotolitografia voi tuottaa rajoittaa hyvin valon aallonpituus. Kuten nanodevices pienenee, he vaativat uusia valmistusmenetelmiä.

Kun pari viimeaikaisissa tutkimuksissa tutkijat MIT: n tutkimus laboratorio Elektroniikan ja Singaporen Engineering virasto Tiede, teknologia ja tutkimus (* STAR) ovat osoittaneet, uusi tekniikka, joka voisi tuottaa siru ominaisuuksia vain 10 nanometriä - tai noin 30 atomeja - poikki. Tutkijat käyttää nykyisiä menetelmiä tallettaa kapeat muovi sirulle pinnalle sitten ne aiheuttavat pilarin romahtamisesta ennalta suuntiin, jotka piiri monimutkaisia ​​kuvioita.

RLE tutkijat voivat myös ohjata romahdusta nanomittakaavan "seinien" painamista suorat linjat on siru - tai, kuten tässä tapauksessa, toisto MIT logo.

Ironista kyllä, työ oli sivuhaara tutkimus yrittää estää romahduksen nanopilarit. "Collapse rakenteiden on yksi suurimmista ongelmista, litografia alas 10 nanometrin tasolla kasvot", sanoo Karl Berggren, Emanuel E. Landsman (1958) apulaisprofessori Sähkötekniikka ja Computer Science, joka johti uuteen työhön. "Rakenteellisesti nämä asiat eivät ole niin jäykkiä tuohon pituusskaala. Se on enemmän kuin yrittäisi saada hiukset nousemaan. Se haluaa vain flopin yli." Berggren ja hänen kollegansa olivat Fossilryggenin ongelma, kun hän sanoo, se tapahtui heille, että "jos emme voi päätyä pelaajan se, ehkä voimme käyttää sitä."

Status quo

Kanssa fotolitografia, sirut ovat rakennettu kerroksittain, ja kun jokainen kerros on talletettu, se on peitetty valoherkkä materiaali kutsutaan vastustamaan. Valo paistaa läpi taidokkaasti kuvioitu sapluuna - kutsutaan Mask - altistaa osat vastustaa, mutta ei muita, paljon tapa valo paistaa läpi valokuvaus negatiivinen paljastaa valokuvapaperille. Paljasta osaa vastustaa kovettua, ja loput poistetaan. Osa siru suojaamattoman jota vastustaa on sitten etsattu pois, yleensä hapan tai plasmasta jäljellä vastustaa poistetaan, ja koko prosessi toistuu.

Koko piirteitä vakiinnutetaan osaksi siru rajoittavat kuitenkin jonka valon aallonpituus käytetään, ja chipmakers jo butting vastaan ​​rajat näkyvän valon. Yksi mahdollinen vaihtoehto on käyttää ahtaasti rajattuja palkit elektronien - tai e-palkit - paljastaa vastustaa. Mutta e-palkit eivät altista koko siru kerralla, miten valo ei, vaan ne täytyy skannata koko pinta siru rivi kerrallaan. Se tekee e-beam litografia paljon tehottomampaa kuin fotolitografia.

Etsaus pilari vastustaa, toisaalta, edellyttää keskittymistä e-beam vain yhteen paikkaan. Sironta harva pilarit koko siru ja jotta he voivat romahtaa monimutkaisempia malleja voisi siten lisätä tehokkuutta e-beam litografia.

Kerros vastustaa talletetaan e-beam litografia on niin ohut, että kun valottamattomat vastustaa on pesty pois, nesteen luonnollisesti edelleen jäljessä riittää upota pilarit. Koska neste haihtuu ja pilarit esiin, pintajännitys nestettä jäljellä pilarien välillä aiheuttaa heille romahtaa.

Getting epätasainen

Ensimmäisessä kahdessa tutkimuksessa, joka julkaistiin viime vuonna lehdessä Nano Letters, Berggren ja Huigao Duan, vierailevat opiskelija Lanzhou yliopiston Kiinassa, osoitti, että kun kaksi pilaria ovat hyvin lähellä toisiaan, ne romahtaa toisiaan kohti. Vuonna seuranta-asiakirjan, esiintyy 5 syyskuu kysymys nanoteknologia lehden Small, Berggren, Duan (nyt * STAR) ja Joel Yang (joka teki PhD työtä Berggren, myös liittymällä * STAR Valmistuttuaan 2009) osoittavat, että ohjaamalla muoto eristetty pilarista, he voivat saada heidät romahdukseen tahansa suuntaan he haluavat.

Last Update: 21. October 2011 18:34

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit