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EV GroupはGEMINI FBシステムの起動により、製造効率のより高いレベルを達成するために

Published on September 7, 2011 at 9:31 PM

EVグループ (EVG)、MEMS、ナノテクノロジー、半導体市場向けのウェーハボンディングとリソグラフィ装置のリーディングサプライヤーが、今日はそれがシステムのスループットを増加させる、その分野で実績のあるGEMINI FB融合ウェーハボンディングの家族に新たなフラッグシップモデルを立ち上げていることを発表しました。最高時速20枚まで。

アップグレードは、お客様が裏面照射さ(BSI)のCMOSイメージセンサ、CMOSイメージセンサーの3D集積化、およびメモリデバイスのモノリシック3D統合などのアプリケーションのために生産効率のより高いレベルを達成できるように強化された自動化機能が含まれています。

EVGのGEMINI FBのシステムは、統合および自動化されたウェーハのロード、アライメント、ボンディング、直径300mmに貼り合わせウェーハからなるアンロードするために設計されています。同社はすでにこの暦年の終わりに予定配達で、アップグレードされたプラットフォームのための主要な半導体メーカーから受注を受信したことを報告します。

ポールリンドナー、EVG社のエグゼクティブ技術のディレクターによると、"我々は、投資に対するリターンを最大化するために、より高い収率とスループットのための私達の顧客の間で需要が引き続き表示。EVGで、私たちのビジョンは実現する新しい技術を探求することに最初にすることです。これらのゲイン - 。このような当社の主力GEMINI FBのプラットフォームには、この最新の拡張機能としての機能強化を私たちが活用するマイクロおよびナノファブリケーション技術はそのビジョンの一環として、我々は革新に絶えず焦点を合わせることが私たちの製品ラインを、次世代アプリケーションに対応できるようにする - 業界すぐに利用できる最初のフィールドで実証済みの300 mm融合ウェーハボンディングシステム。"

GEMINI FBプラットフォームのスループットを高めるために、これら最新の機能強化は、業界をリードする機器のプラットフォームの多くの間で300ミリ総理規格を実装するためにEVGの企業のイニシアチブの一部です。具体的には、以上の連続モード動作のために10にフープの数(前開き統一されたポッド)システム上の倍のローカル材料のバッファを、組み込まEVG。シングルエンドエフェクターに比べてロボットシステムをダブルエンドエフェクタを使用して - またGEMINI FBプラットフォームの新しい、より高速ウェーハハンドリングシステムを採用しEVG。

CMOSイメージセンサーや3D統合アプリケーションのための重要な要素 - GEMINI FBプラットフォームの主な特徴は、無料のアニーリング、低温(<400℃)ウエハボンディングとストレス/被害を可能にする低温プラズマ活性化を、含まれています。また、様々な厚さや素材で、最大300 mmまでの対面、裏面、ウェーハの赤外線と透明な位置合わせのための普遍的なボンドアライメントを可能にする独自SmartViewRの技術を、強化EVG - 今日利用できる最善のアライメント精度を実現します。 SmartViewのアライメントシステムの機能強化により、プロセスのシーケンスと速度を最適化する新しいソフトウェアが含まれています。チャンバーの設定、顧客のアプリケーションやプロセスレシピに応じて時間当たり18から20ウェーハ債、最高速度の結果 - GEMINI FBプラットフォームにこれらの複合機能強化により、EVGは、スループットは26%増を実現しました。

EVGは、台北、台湾で9月7-9、2011開催されるセミコン台湾、出展します。会社とその最近の動向について詳細に興味のメディアとアナリストは、EVG社のブース#2506を訪問することをお勧めします。さらに、いくつかのEVGの幹部は、3日間のイベント中に発表いたします。 www.semicontaiwan.org/en/を訪問詳細については、。

Last Update: 7. October 2011 12:21

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