Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions

EV Groepeer me om Hogere Niveaus van de Efficiency van de Productie door de Lancering van FB van TWEELING Te Bereiken systeem

Published on September 7, 2011 at 9:31 PM

EV de Groep (EVG), een belangrijke leverancier van van de wafeltje het plakken en lithografie apparatuur voor de markten van MEMS, van de nanotechnologie en van de halfgeleider, kondigden vandaag aan dat het een nieuw vlaggeschipmodel in zijn gebied-bewezen FB van TWEELING familie lanceert plakkend van het fusiewafeltje die systeemproductie tot maximaal 20 wafeltjes per uur verhoogt.

De verbetering omvat verbeterde automatiseringsmogelijkheden om klanten toe te laten om hogere niveaus van productieefficiency voor dergelijke toepassingen te bereiken zoals achtereind verlichte CMOS (van BSI) beeldsensoren, 3D integratie van CMOS beeldsensoren, en monolithische 3D integratie van geheugenapparaten.

FB van TWEELING van EVG het systeem wordt ontworpen voor geïntegreerde en geautomatiseerde wafeltjelading, groepering, het plakken en het leegmaken van wafeltjes in entrepot tot 300 mm in diameter. Het bedrijf rapporteert dat het reeds orden van belangrijke geïntegreerde apparatenfabrikanten voor het promotieplatform heeft ontvangen, met leveringen slated voor het eind van dit kalenderjaar.

Volgens Paul Lindner, uitvoerende technologiedirecteur voor EVG, „Wij blijven de vraag onder onze klanten voor hogere opbrengsten en productie zien hun rendement van investering maximaliseren. Bij EVG, moet onze visie zijn eerste in het onderzoeken van nieuwe technieken om deze aanwinsten te bereiken--toelatend ons om volgende-generatietoepassingen te richten dat van hefboomwerkings micro- en nanofabricatie technologieën. Als deel van die visie, concentreren wij ons voortdurend op vernieuwende onze productlijnen met verhogingen zoals deze recentste uitbreiding aan ons FB van vlaggeschipTWEELING platform--het eerste gebied-bewezen dadelijk beschikbare het wafeltjesysteem plakkend van de 300 mmfusie van de industrie.“

Deze recentste verhogingen om de productie van het FB van TWEELING op te voeren platform maken deel uit van het collectieve initiatief van EVG om 300 mm Eerste normen over veel van zijn industrie-leidende apparatuur platforms uit te voeren. Specifiek, nam EVG een lokale materiële buffer op, die meer dan het aantal van FOUPs (het voor openen verenigde peulen) op het systeem aan 10 voor ononderbroken wijzeverrichting verdubbelt. EVG wendde ook een nieuw, sneller wafeltje behandelend systeem in het FB van TWEELING platform aan--gebruikend dubbel-eindeffectors op het robotachtige systeem in vergelijking met enig-eindeffectors.

Een zeer belangrijke eigenschap van het FB van TWEELING platform omvat de activering van het lage temperatuurplasma, die lage temperatuur (<400 graden Celsius) wafeltje het plakken en spanning/schade het vrije ontharden toelaat--een kritiek element voor CMOS beeldsensor en 3D integratietoepassingen. EVG verbeterde ook zijn merkgebonden technologie SmartViewR, die voor universele bandgroepering voor van aangezicht tot aangezicht, achtereind, infrarode en transparante groepering van wafeltjes tot 300 mm met variërende dikte en materialen het mogelijk maakt--leverend de beste vandaag beschikbare groeperingsnauwkeurigheid. De Verhogingen aan het SmartView groeperingssysteem omvatten nieuwe software die procesopeenvolgingen en snelheid optimaliseert. Met deze gecombineerde verhogingen aan het FB van TWEELING platform, heeft EVG een 26 percentenverhoging van productie aangetoond--resulterend in snelheden van zelfs 18-20 wafeltjebanden per uur, afhankelijk van kamerconfiguratie, klantentoepassingen en procesrecepten.

EVG zal bij SEMICON Taiwan tentoonstellen, die 7-9 September, 2011 in Taipeh, Taiwan zal worden gehouden. Media en de analisten de geinteresseerd in het leren van meer over het bedrijf en zijn recente ontwikkelingen worden aangemoedigd om de cabine #2506 te bezoeken van EVG. Bovendien zullen verscheidene stafmedewerkers EVG tijdens de driedaagse lange gebeurtenis voorstellen. Bezoek www.semicontaiwan.org/en/ voor meer informatie.

Last Update: 11. January 2012 05:54

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit