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东芝选择预测的调度软件,以提高光刻效率

Published on September 30, 2011 at 2:48 AM

由Cameron湾仔

应用材料公司宣布,由东芝公司的SmartSched预测调度软件已购买了其光刻业务的能力和效率的提高。

东芝公司已经开始了第一阶段在2011年8月SmartSched预测调度软件的Fab 4工厂,一个300毫米的大型工厂的芯片生产厂位于日本四日市的部署。创新的软件解决方案,是第一的一类,通过光刻细胞,这是工厂生产的资本密集和复杂的部分,以加强晶圆运动预测调度方案。它是一种在工厂生产的重复堵塞和消耗更多的钱,不同比例与设备的复杂性。

SmartSched采用专有的预测算法,以改善光刻工具的时间,通过转换成容量增加利用不足。通过优化利用光刻工具,软件解决方案,使客户拖延或回避决定购买新设备,这反过来又提供了他们在SmartSched软件的投资丰厚的回报。

东芝四日市操作的高级经理,制造工程正德森川表示,该公司选择SmartSched解决方案,因为它是最快捷和廉价的解决方案,以减少周期时间,提高产量,并与光刻工艺的第一个重点。他说,该公司计划在加入应用材料公司的力量延长SmartSched解决方案的能力,以提高吞吐量和设备利用率等生产领域。

应用“全球服务集团副总裁及总经理,查理Pappis表示,该公司是很乐意协助东芝,以改善其上其目前的光刻资产回报。

来源: http://www.appliedmaterials.com

Last Update: 30. October 2011 18:51

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