Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
Posted in | Nanolithography

IMEC tekent contract met ASML om gezamenlijk ontwikkelen van geavanceerde Litho Technology

Published on October 12, 2011 at 4:52 AM

Door Cameron Chai

Belgisch bedrijf IMEC heeft opgenomen in een vijfjarige overeenkomst gesloten om samen te werken met ASML en de ontwikkeling van de nieuwste lithografie technologie om tegemoet te komen aan de wereldwijde halfgeleiderindustrie. Vanaf november 2011 zullen beide bedrijven bijdragen aan de samenwerking door het installeren van hun nieuwste lithografie tools.

"ASML preproductie scanner NXE: 3100 voor extreme UV-lithografie, geïnstalleerd bij 300mm cleanroom IMEC's."

Zoals aangegeven in de overeenkomst ASML zal het installeren van de 193nm immersie litho tool en andere computationele lithografie tools, de ASML Yieldstar S200 metrologie-platform en de NXT 1950i systeem. Het bedrijf zal ook de NXE: 3300B EUV lithografie systeem. Deze litho systeem is de volgende versie van de NXE: 3100 van ASML die onlangs werd geïnstalleerd door IMEC.

Volgens Martin van den Brink, die is de Chief Technology Officer Producten en bij ASML, zal de nauwe samenwerking tussen IMEC en ASML helpen om tegemoet te komen aan gezamenlijke klanten en hen te voorzien van een nieuwe oplossing voor de productie van chips. Dit partnerschap zal ook helpen beide bedrijven om de overgang naar EUV-lithografie-technologie op een vlotte manier. ASML is het testen van de stabiliteit van de tools door middel van haar installaties bij IMEC in om de nieuwste tools te ontwikkelen binnen een betrouwbare omgeving. IMEC is een nano-elektronische bedrijf gespecialiseerd in het vergroten van de expertise door middel van partnerships met toonaangevende bedrijven op het gebied van energie, gezondheidszorg en ICT.

Bron: http://www.imec.be

Last Update: 16. October 2011 12:18

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit