Με Cameron Chai
IMEC έχει δηλώσει ότι έχει ολοκληρώσει με επιτυχία τη δοκιμή ενός chipset που διαθέτει προσαρμοσμένο υψηλής ποιότητας ακραίες υπεριώδες (EUV) αισθητήρα πεθαίνει.
Η εταιρεία ενσωματώνει πλέον το chipset σε εργαλεία EUV λιθογραφία ASML καλέσει το NXE: 3100 στον τομέα για τη βελτίωση κριτική τους διάσταση και να επικαλύψει τις επιδόσεις εργαλείο.
Wafer με EUV πεθαίνει αισθητήρα, που παράγεται σε 200 χιλιοστά γραμμή CMORE IMEC του
Το επίτευγμα αυτό αποδεικνύει ότι CMORE γραμμή Imec της επιχείρησης είναι πλέον έτοιμος να προσφέρει προσαρμοσμένες λύσεις τσιπ ειδικότητα στους εταίρους της. Οι αισθητήρες έχουν αναπτυχθεί για να ανταποκρίνεται στο πρότυπο προδιαγραφές και τα σχέδια της ASML, με έμφαση στην υψηλή ευαισθησία και τη διάρκεια ζωής σε υψηλές δόσεις και την άμεση ακτινοβολία EUV.
Δύο από τους αισθητήρες έχουν αναπτυχθεί ειδικά για την ευθυγράμμιση, τη βαθμονόμηση, και την εστίαση των συστημάτων φακό του εργαλείου λιθογραφία. Έχουν συμπεριληφθεί σε λειτουργικές ενότητες αισθητήρα και επίσης ενσωματωθεί στην NXE: 3100 συστήματα στον τομέα. Ένας τρίτος αισθητήρας έχει σχεδιαστεί για να ελέγξετε την EUV δοσολογία του NXE: 3300. Επόμενη εργασία IMEC είναι η ανάπτυξη και η δοκιμή αυτών των αισθητήρων για το NXE: 3300 EUV λιθογραφία εργαλεία από το τέλος του έτους.
CMORE πρωτοβουλία IMEC επιτρέπει στις επιχειρήσεις να συνειδητοποιήσουν τα σχέδια μυθιστόρημα τους σε συμπαγή συσκευασία Microsystems. Η CMORE εργαλειοθήκη διαθέτει ένα ευρύ φάσμα τεχνολογιών συσκευής σε 200 mm που περιλαμβάνει τη συσκευασία, αισθητήρες εικόνας, MEMS, Si-φωτονική και CMOS, και τις δοκιμές, το σχεδιασμό και την αξιοπιστία. Εκτός από αυτούς τους αισθητήρες EUV, CMORE πρωτοβουλία της εταιρείας θα σχεδιασμό των chip λύσεις για φωτολιθογραφία, οι high-end απεικόνισης ειδικότητα, ενέργειας και ενεργειακής διαχείρισης και βιο-αισθητήρες.
Πηγή: http://www2.imec.be