Cameron Chai
IMEC on ilmoittanut, että se on suorittanut testauksen piirisarja featuring mukautetun laadukkaat äärimmäinen ultravioletti (EUV) anturi kuolee.
Yhtiö on nyt integroida piirisarjan ASML: n EUV litografia työkaluja kutsutaan NXE: 3100 alan parantamaan kriittistä ulottuvuutta ja Sivunpeittotyökalu suorituskykyä.
Kiekkojen kanssa EUV anturi kuolee, joko IMEC: n 200mm CMORE linja
Tämä saavutus osoittaa, että IMEC: n CMORE liiketoimintalinja on nyt valmis tarjoamaan mukautettuja erikoisuus siru ratkaisuja sen kumppaneille. Anturit kehitettiin vastaamaan standardin vaatimukset ja malleja ASML, joka keskittyy suuren herkkyyden ja eliniän korkea ja suora EUV säteilytys annoksilla.
Kaksi anturit ovat kehitetty erityisesti tasata, kalibroida ja tarkennuslinssi järjestelmien litografia työkalu. Ne on sisällytetty toiminnallisia anturi moduulit ja sisällytetty myös NXE: 3100 järjestelmien alalla. Kolmas anturi on suunniteltu tarkistaa EUV annos NXE: 3300. IMEC: n seuraava tehtävä on kehittää ja testata näitä antureita NXE: 3300 EUV litografia työkaluja tämän vuoden loppuun mennessä.
IMEC: n CMORE aloitteen avulla yritykset voivat toteuttaa uusia malleja osaksi kompakti pakattu Microsystems. CMORE työkalupakki ominaisuuksia laaja valikoima laite teknologioiden 200 mm, jotka sisältävät pakkaukset, kuvakennon, MEMS, Si-fotoniikan ja CMOS, ja testaus, suunnittelu ja luotettavuus. Lisäksi näihin EUV anturit, yhtiön CMORE aloite design siru ratkaisuja fotolitografia, high-end Specialty kuvantaminen, voima ja energia hallinta ja bio-tunnistus.
Lähde: http://www2.imec.be