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IMEC Integra chipset contenenti sensore EUV Dies ai sistemi di ASML litografia

Da Cameron Chai

IMEC ha dichiarato che ha completato con successo la sperimentazione di un chipset con personalizzati di qualità superiore, estremo ultra violetti (EUV) sensore muore.

La società è ora integra il chipset in strumenti ASML litografia EUV chiama NXE: 3100 nel settore per migliorare la loro dimensione critica e strumento di prestazioni di sovrapposizione.

Wafer con sensore muore EUV, prodotto on line 200 millimetri IMEC CMORE

Questo risultato dimostra che gli affari Imec è CMORE linea è ora pronta a offrire soluzioni personalizzate chip di specialità ai suoi partner. I sensori sono stati sviluppati per soddisfare le specifiche standard e disegni di ASML, con particolare attenzione alla sensibilità elevata e la durata a dosi elevate e diretto irraggiamento EUV.

Due dei sensori specificamente sviluppati per allineare, calibrare, e messa a fuoco sistemi di lenti dello strumento litografia. Sono stati inclusi in moduli sensore funzionale e inserite anche nella NXE: 3100 sistemi in campo. Un terzo sensore è stato progettato per controllare il dosaggio EUV della NXE: 3300. IMEC compito successivo è quello di sviluppare e testare questi sensori per la NXE: 3300 strumenti di litografia EUV da questo fine anno.

Iniziativa CMORE IMEC permette alle aziende di realizzare i loro progetti romanzo in compatto microsistemi confezionati. La cassetta degli attrezzi CMORE offre una vasta gamma di tecnologie dispositivo su 200 mm che includono l'imballaggio, sensori di immagini, MEMS, Si-fotonica e CMOS, e la sperimentazione, design e affidabilità. A seguito di questi sensori EUV, iniziativa CMORE dell'azienda progetteranno soluzioni chip per fotolitografia, l'imaging di fascia alta specialità, il potere e la gestione dell'energia e bio-sensing.

Fonte: http://www2.imec.be

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