IMEC Integra chipset contenenti sensore EUV Dies ai sistemi di ASML litografia

Published on October 13, 2011 at 2:22 AM

Da Cameron Chai

IMEC ha dichiarato che ha completato con successo la sperimentazione di un chipset con personalizzati di qualità superiore, estremo ultra violetti (EUV) sensore muore.

La società è ora integra il chipset in strumenti ASML litografia EUV chiama NXE: 3100 nel settore per migliorare la loro dimensione critica e strumento di prestazioni di sovrapposizione.

Wafer con sensore muore EUV, prodotto on line 200 millimetri IMEC CMORE

Questo risultato dimostra che gli affari Imec è CMORE linea è ora pronta a offrire soluzioni personalizzate chip di specialità ai suoi partner. I sensori sono stati sviluppati per soddisfare le specifiche standard e disegni di ASML, con particolare attenzione alla sensibilità elevata e la durata a dosi elevate e diretto irraggiamento EUV.

Due dei sensori specificamente sviluppati per allineare, calibrare, e messa a fuoco sistemi di lenti dello strumento litografia. Sono stati inclusi in moduli sensore funzionale e inserite anche nella NXE: 3100 sistemi in campo. Un terzo sensore è stato progettato per controllare il dosaggio EUV della NXE: 3300. IMEC compito successivo è quello di sviluppare e testare questi sensori per la NXE: 3300 strumenti di litografia EUV da questo fine anno.

Iniziativa CMORE IMEC permette alle aziende di realizzare i loro progetti romanzo in compatto microsistemi confezionati. La cassetta degli attrezzi CMORE offre una vasta gamma di tecnologie dispositivo su 200 mm che includono l'imballaggio, sensori di immagini, MEMS, Si-fotonica e CMOS, e la sperimentazione, design e affidabilità. A seguito di questi sensori EUV, iniziativa CMORE dell'azienda progetteranno soluzioni chip per fotolitografia, l'imaging di fascia alta specialità, il potere e la gestione dell'energia e bio-sensing.

Fonte: http://www2.imec.be

Last Update: 18. October 2011 21:26

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