キャメロンチャイによって
IMECは、それが正常にカスタム優れた品質の極端紫外線（EUV）センサーが死ぬフィーチャリングチップセットのテストを完了したことを宣言した。
同社は現在、ASMLのEUV露光装置NXEと呼ばれるチップセットを統合しています：3100のフィールドで自分の限界寸法とオーバレイツールのパフォーマンスを向上させる。
IMECの200mm CMOREラインで生産EUVセンサダイスウエハー、
この成果は、IMECのCMOREのビジネスラインは、現在のパートナーにカスタム専門のチップソリューションを提供するために準備されていることを証明する。センサーは、高いと直接のEUV照射の用量に対して高感度と寿命を中心に、ASMLの標準的な仕様や設計を満たすために開発されました。
センサーのうち2つは、整列させるキャリブレーション、および露光装置のレンズ系を集中するために開発されています。これらは機能的なセンサーのモジュールに含まれており、また、NXEに組み込まれています：フィールドで3100システムを。 3300：第3のセンサは、NXEのEUV投与量をチェックするために設計されています。今年の年末までに3300 EUVリソグラフィツール：IMECの次の作業は、NXEのためのこれらのセンサーを開発し、テストすることです。
IMECのCMOREイニシアチブは、企業が小型パッケージ化マイクロシステムに彼らの斬新なデザインを実現することができます。 CMOREツールボックスは、パッケージング、イメージセンサー、MEMS、シリコンフォトニクスとCMOS、およびテスト、設計と信頼性を含む200ミリメートル上のデバイス技術を幅広く備えています。これらのEUVセンサにさらに、同社のCMOREイニシアチブは、フォトリソグラフィー、ハイエンドの特殊画像処理、電力とエネルギー管理およびバイオセンシングのためのチップソリューションを設計します。
ソース： http://www2.imec.be