Door Cameron Chai
Imec heeft verklaard dat het met succes heeft het testen van een chipset met op maat van superieure kwaliteit extreme ultraviolet (EUV) sensor sterft afgerond.
Het bedrijf is nu de integratie van de chipset in ASML's EUV lithografie tools genaamd de NXE: 3100 in het veld om hun kritische dimensie en overlay hulpmiddel prestaties te verbeteren.
Wafer met EUV-sensor overlijdt, geproduceerd op 200mm CMORE online imec's
Deze prestatie bewijst dat Imec's CMORE business line nu bereid is om op maat specialty-chip oplossingen te bieden aan haar partners. De sensoren zijn ontwikkeld om de standaard specificaties en ontwerpen van ASML voldoen, met de nadruk op een hoge gevoeligheid en een hoge levensduur en directe EUV bestraling doseringen.
Twee van de sensoren zijn speciaal ontwikkeld om af te stemmen, kalibreren, en de lens systemen van de lithografie gereedschap focus. Ze zijn opgenomen in de functionele sensor modules en ook opgenomen in de NXE: 3100-systemen in het veld. Een derde sensor is ontworpen om de EUV-dosering van de NXE controleren: 3300. Volgende taak Imec is te ontwikkelen en deze sensoren voor de NXE test: 3300 EUV lithografie tools van dit jaar te beëindigen.
Imec's CMORE initiatief laat bedrijven toe om hun nieuwe ontwerpen te realiseren in compacte verpakking microsystemen. De CMORE toolbox biedt een breed scala van technologieën op het apparaat 200 mm dat de verpakking, beeldsensoren, MEMS, Si-fotonica en CMOS, en testen, design en betrouwbaarheid op te nemen. Naar aanleiding van deze EUV sensoren, zal het bedrijf CMORE initiatief ontwerp van chip-oplossingen voor fotolithografische, high-end imaging specialiteit, kracht en energie management en bio-sensing.
Bron: http://www2.imec.be