По Камерон Чай
IMEC заявила, что она успешно завершила тестирование чипсета с участием пользовательских превосходного качества крайнего ультрафиолета (EUV) датчик погибает.
Компания в настоящее время интеграции в чипсете EUV-литографии в ASML инструментов под названием NXE: 3100 в целях совершенствования их критического размера и производительности наложения инструмента.
Вафли с EUV-датчик умирает, производятся на 200 мм линии IMEC в CMORE
Это достижение доказывает, что CMORE бизнес IMEC линейка теперь готовы предложить индивидуальные решения чип специальности своим партнерам. Датчики были разработаны для удовлетворения технических условий и проектов ASML, с акцентом на высокую чувствительность и жизнь, чтобы высокие и прямые дозы EUV-облучения.
Два из датчиков, специально разработанные для выравнивания, калибровки, и линза систем литографии инструмент. Они были включены в функциональные модули датчиков, а также внесены в NXE: 3100 систем в области. Третий датчик спроектирован, чтобы проверить EUV дозировку NXE: 3300. Следующая задача IMEC в том, чтобы разрабатывать и тестировать эти датчики для NXE: 3300 EUV литографии инструментов этим до конца года.
CMORE инициативу IMEC позволяет компаниям реализовать свои проекты роман в компактные упакованы микросистем. CMORE инструментов функций широкого спектра устройств технологий на 200 мм, которые включают в себя упаковку, датчиков изображения, MEMS, Si-фотоники и CMOS, и тестирование, дизайн и надежность. В дополнение к этим EUV датчики, CMORE инициативе компании будут разрабатывать чип решения для фотолитографии, высокого класса специальности изображений, управления питанием и энергией и био-зондирования.
Источник: http://www2.imec.be