Ni Cameron Chai
Imec ay ipinahayag na matagumpay na ito ay nakumpleto ang pagsubok ng isang chipset na nagtatampok pasadyang nakalalamang na kalidad matinding ultra byoleta (EUV) sensor namatay.
Ang kumpanya ay ngayon pagsasama ang chipset sa ASML ng EUV litograpya tool na tinatawag ang NXE: 3100 sa patlang upang mapabuti ang kanilang mga kritikal na sukat at pagganap ng overlay tool.
Ostiya sa EUV sensor namatay, na ginawa sa imec ng 200mm CMORE line
Ang katangian na ito ay nagpapatunay na ang CMORE negosyo Imec linya ay handa na ngayon upang mag-alok ng pasadyang mga solusyon ng specialty chip sa mga kasosyo nito. Ang mga sensors ay binuo upang matugunan ang mga standard na mga pagtutukoy at disenyo ng ASML, na may pagtuon sa mataas na sensitibo at buhay sa mataas at direktang mga dosages ng pag-iilaw ng EUV.
Dalawang ng sensors ay partikular na binuo upang ihanay, mag-kalibrate, at focus ang mga sistema ng lens ng tool ng litograpya. Sila ay kasama sa functional sensor module at din inkorporada sa ang NXE: 3100 sistema sa patlang. Isang third sensor ay engineered upang suriin ang EUV dosis ng NXE: 3300. Ang susunod na gawain ng Imec ay upang bumuo at subukan ang mga sensors para sa NXE: 3300 EUV litograpya tool sa pamamagitan ng ito pagtatapos ng taon.
CMORE hakbangin Imec ay nagbibigay-daan sa mga kumpanya upang makamit ang kanilang mga disenyo ng nobelang sa compact nakabalot Microsystems. Ang CMORE Toolbox tampok ng isang malawak na hanay ng mga teknolohiya ng aparato sa 200 mm na kasama ang packaging, mga sensors ng imahe, MEMS, Si-photonics at CMOS, at pagsubok, disenyo at pagkamaaasahan. Karagdagang sa mga sensors EUV, CMORE hakbangin ng kumpanya ay disenyo chip solusyon para sa photolithography, high-end na espesyalidad imaging, kapangyarihan at pamamahala ng enerhiya at bio-sensing.
Source: http://www2.imec.be