由Cameron湾仔
IMEC宣布，它已成功地完成了一个具有自定义，以质量上乘的极端紫外线（EUV）传感器死亡的芯片组的测试。
目前，该公司整合芯片组在ASML的EUV光刻工具，所谓的NXE：在该领域3100，以改善他们的关键尺寸和覆盖工具的性能。
晶圆与IMEC的200mm CMORE线生产模具的EUV传感器，
这一成就证明，IMEC的CMORE业务线正准备及其合作伙伴提供定制的专用芯片解决方案。传感器ASML公司的标准规范和设计，开发，以满足高灵敏度和寿命高，直接EUV照射剂量为重点。
两个传感器是专门开发的校准，校准和焦点透镜的光刻工具系统。他们已被列入功能模块和传感器纳入NXE：3100系统在该领域。第三个传感器的设计检查EUV技术的NXE的用量为：3300。 IMEC的下一个任务是开发和测试今年年底这些传感器的NXE：3300 EUV光刻工具。
IMEC的CMORE倡议，使企业能够实现其新颖的设计成紧凑型封装微。 CMORE工具箱功能上200毫米，其中包括包装，图像传感器，微机电系统，硅光子学和CMOS，测试，设计和可靠性的设备技术的广泛。继这些EUV技术传感器，该公司的CMORE主动将设计光刻，高端的专业成像，电力和能源管理和生物传感芯片解决方案。
来源： http://www2.imec.be