Site Sponsors
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD

New Automatisierte High-Speed ​​Spektroskopische Ellipsometer aus ULVAC

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc. führt die "SM2", ein Wandler-Typ Multi Ionisierungsmessröhre die Messköpfe mit unterschiedlichen Messbereichen verbinden können. ULVAC auch Versionen, die "UNECS-3000A", eine automatische High-Speed-spektroskopischen Ellipsometer, die die Dicke eines dünnen Films messen kann, sowie, optische Konstante. Schließlich kündigt ULVAC der Einführung der "VFR-400" und "VFR-500", großes Pendel Ventile für FPD Fertigungseinrichtungen, in Märkten wie z. B. organische EL (Elektrolumineszenz-) Herstellung und großen Vakuum-Anlagen verwendet.

Übersicht der "SH2"

ULVAC entwickelt und vermarktet die G-TRAN "Multi Ionisationssensor SH2" (patent pending) Wandler Typ, der Messköpfe mit unterschiedlichen Messbereichen verbinden können. Die neu entwickelte G-TRAN Series "Multi Ionisationssensor SH2" ist eine Trennung geben Vielzahl Vakuummeter, dass drei verschiedene Arten von Vakuum-Messgeräte durch den Einbau von Signalen von einem Pirani "SPU" und eine stimmungsvolle sensor "SAU" verbinden können.

Zusätzlich zu der Möglichkeit, den Messkopf wählen, um den gewünschten Vakuumbereich durch den Benutzer gerecht zu werden, das Vakuum-Messgerät hat auch folgende Vorteile.

  1. Möglich, ein breites Spektrum (Atmosphärendruck bis Hochvakuum-Bereich; 5x10-8PA) messen
  2. Mögliche zu ersetzen nur versäumt Messköpfe
  3. Mögliche, um laufende Kosten zu senken (low Umweltbelastung Typ)

Mit der neuen G-Series TRAN "Multi Ionisationssensor SH2" ist es möglich, den Messkopf für den Bereich, gemessen werden muss wählen. Das Herz des neuen Produkts ist die "Multi Ionisierungsmessröhre SH2" Einheit, die reicht von einem Medium Vakuum auf ein Hochvakuum messen kann. Eine breite Palette von Messungen können mit dem Pirani (SPU), wenn ein Grobvakuumbereich Messung erforderlich ist, oder schließen Sie das Atmosphärische Sensor (SAU), wenn Sie möchten, genau zu messen atmosphärischem Druck durchgeführt werden. Für dieses Produkt konzentrierten wir unsere Entwicklung auf die Benutzerfreundlichkeit durch die Aufnahme einer Warnfunktion, dass damit der Benutzer weiß, wenn der Faden ist schwach und eine gut sichtbare LED, die wird es dem Benutzer aus der Ferne wissen, wann eine Störung aufgetreten ist. Wird Der Preis des Verbrauchsmaterials Multi Ionisierungsmessröhre Kopf war auch die Hälfte der ursprünglichen Marktpreis gesenkt.

Übersicht der "UNECS-3000A"

Die "UNECS-3000A" automatische High-Speed-spektroskopische Ellipsometer kombiniert die ultra-schnelle Messmöglichkeiten der "UNECS-2000" High-Speed-spektroskopische Ellipsometer mit einer automatischen Mapping-Funktion, die 300 mm Durchmesser Substrate verarbeiten kann, so dass deutlich verbesserte Messung der Film Dickenverteilung. Zum Beispiel dauert es nur 120 Sekunden bis 106 Punkten auf einer 300 mm Durchmesser Wafer messen. Dies ist weniger als ein Fünftel der Zeit für konventionelle Produkte von anderen Unternehmen, was bedeutet, dramatische Zeiteinsparungen auf Schichtdickenverteilung Auswertung. Die "UNECS-3000A" ist äußerst vielseitig und kann für Zwecke wie die Auswertung Lackschichtdicke für die Halbleiter-Lithographie und organischen EL-Display Film verwendet werden, und in einer Vielzahl von Einstellungen, einschließlich Produktion und in Forschung und Entwicklung. Produkteigenschaften sind im Folgenden beschrieben.

  1. Automatische Mapping-Funktion
    Das Produkt ist mit einer automatischen R-Theta-Stadium, dass eine maximal 300 mm Durchmesser Substrat, welches automatisch messen kann die Dicke der Substratoberfläche und optische Konstante Verteilung und Anzeige der Messergebnisse auf einem Farb-Karte unterstützen kann, ausgestattet.
  2. Ultra-High-Speed-Messungen
    Dieses Produkt kann Ultra-High-Speed-Messungen (maximale Geschwindigkeit von 20ms/point) mit der Snapshot-Messung zu erreichen, indem mit Hilfe spektroskopischer Ellipsometrie mit zwei höherwertigen Retarder, die unmöglich für die früheren spektroskopischen Ellipsometer wurde.
  3. Preis-Leistungs-
    Dieses Produkt bietet eine unglaubliche Preis-Leistungsverhältnis, da es standardmäßig mit Funktionen wie 300 mm Durchmesser automatische Zuordnung, automatische Höhenverstellung, ein Laptop-Computer, Analyse-Software und andere Ausrüstung kommt.
  4. Editierbare Materialien Tabellen-Datei
    Die Materialien Tisch Datei, die optischen Konstanten für Substrate und Filme, können bearbeitet und ergänzt werden durch die Nutzer, so dass die einfache Erstellung von benutzerdefinierten einzigartigen Datenbanken.
  5. Multi-Schicht-Folie Messungen
    Bis zu sechs Lagen Folie Dicke auf einmal analysiert werden. (Schichtdicke und optische Konstanten können gleichzeitig nur für die obere Schicht der Folie gemessen werden.)

Übersicht der "VFR-400" und "VFR-500"

ULVAC entwickelt und Large Pendulum Valves "VFR-400" und "VFR-500" für große Vakuum-Systeme vermarktet.

Die Durchmesser der neu entwickelten Grosser Pendelschieber "VFR-400" und "VFR-500" sind 16 Zoll und 20 Zoll bzw..

Merkmale dieser neuen Produkte sind wie folgt.

Last Update: 18. November 2011 10:17

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit