Νέα Αυτοματοποιημένη υψηλής ταχύτητας Φασματοσκοπικές ellipsometer από ULVAC

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc εισάγει την "SM2", τύπο αισθητηρίου multi μετρητή ιονισμού που μπορεί να συνδεθεί κεφάλια μετρητή με διαφορετικές κλίμακες μέτρησης. ULVAC απελευθερώνει επίσης, το "UNECS-3000A", αυτόματο υψηλής ταχύτητας φασματοσκοπικές ellipsometer οποία μπορεί μέτρο το πάχος μιας λεπτή ταινία, καθώς, οπτική σταθερή. Τέλος, ULVAC ανακοινώνει τη δρομολόγηση του "VFR-400" και "VFR-500", μεγάλες βαλβίδες εκκρεμές για FPD εξοπλισμού παραγωγής, το οποίο χρησιμοποιείται σε αγορές όπως η Organic EL (ηλεκτροφωταύγειας) την κατασκευή και τον εξοπλισμό μεγάλου κενού.

Επισκόπηση του "SH2"

ULVAC έχει αναπτύξει και εμπορευματοποιείται την G-TRAN "Multi Gauge ιονισμό SH2" (ευρεσιτεχνίας εκκρεμεί) τύπο αισθητηρίου ότι να συνδέσετε κεφάλια gauge με διαφορετικές εύρη μέτρησης. Η νεοαποκτηθέντα G-TRAN Series "Multi SH2 Gauge Ιονισμού" είναι ένας τύπος χωρισμός ευρύ μετρητή κενού φάσμα ότι να συνδέσετε τριών διαφορετικών τύπων μετρητές κενού ενσωματώνοντας σήματα από ένα μανόμετρο Pirani "SPU" και μια Ατμοσφαιρική αισθητήρα "SAU".

Εκτός του ότι είναι σε θέση να επιλέξει το κεφάλι μετρητή για την κάλυψη των επιθυμητών ορίων κενό με το χρήστη, το μετρητή κενού έχει επίσης τα ακόλουθα πλεονεκτήματα.

  1. Δυνατή η μέτρηση ενός ευρέος φάσματος (ατμοσφαιρική πίεση σε υψηλή σειρά κενού? 5x10-8Pa)
  2. Δυνατή η αντικατάσταση μόνο δεν κεφάλια μετρητή
  3. Πιθανές να μειώσουν δαπάνες λειτουργίας (χαμηλής περιβαλλοντικής τύπος επιβάρυνσης)

Με το νέο G-TRAN Series "Multi Gauge ιονισμού SH2" είναι δυνατό να επιλέξετε το κεφάλι μετρητή για το φάσμα ότι χρειάζεται να μετρηθεί. Η καρδιά του νέου προϊόντος είναι το "Multi gauge SH2 ιονισμού" μονάδα οποίο μπορεί μέτρο κυμαίνεται από ένα μέσο κενό σε υψηλό κενού. Ένα ευρύ φάσμα μετρήσεις μπορούν να γίνουν χρησιμοποιώντας την μετρητή Pirani (SPU) εάν χαμηλό μέτρηση φάσμα κενού απαιτείται, ή συνδέστε το Ατμοσφαιρική αισθητήρα (SAU) εάν επιθυμείτε να μετρηθεί με ακρίβεια ατμοσφαιρική πίεση. Για αυτό προϊόν επικεντρώσαμε ανάπτυξη μας την χρηστικότητα από συμπεριλαμβανομένης μια συνάρτηση προειδοποίηση ότι θα αφήσει ο χρήστης ξέρει πότε η ζωή πυράκτωσης είναι χαμηλή και ένα ιδιαίτερα ορατό LED ότι θα αφήσει ο χρήστης γνωρίζουν από μακριά όταν ένα δυσλειτουργία έχει συμβεί. Η τιμή του αναλώσιμου Multi κεφάλι gauge ιονισμού ήταν μείωσε επίσης σε μισό του αρχικού τιμή αγοράς.

Επισκόπηση των "UNECS-3000A"

Η "UNECS-3000A" αυτόματη υψηλής ταχύτητας φασματοσκοπικές ellipsometer συνδυάζει το ταχύτατο μέτρηση δυνατότητες του "UNECS-2000" υψηλής ταχύτητας φασματοσκοπικές ellipsometer με αυτόματο λειτουργία χαρτογράφησης ότι μπορεί να χειριστεί 300 υποστρώματα διάμετρος mm, επιτρέποντας έτσι ενισχυθεί σημαντικά μέτρηση φιλμ διανομή πάχος. Για παράδειγμα, χρειάζεται μόλις 120 δευτερόλεπτα για τη μέτρηση 106 μονάδες σε wafer των 300 mm. Αυτό είναι λιγότερο από το ένα πέμπτο του χρόνου για τα συμβατικά προϊόντα άλλων εταιρειών, πράγμα που σημαίνει δραματική μείωση του χρόνου για την αξιολόγηση της διανομής ταινιών πάχος. Η "UNECS-3000A" είναι εξαιρετικά ευπροσάρμοστη και μπορεί να χρησιμοποιηθεί για σκοπούς όπως αξιολόγηση αντισταθεί πάχος φιλμ για λιθογραφικές ημιαγωγών και οργανικά φιλμ εμφάνισης EL, και σε ένα ευρύ φάσμα ρυθμίσεις συμπεριλαμβανομένων γραμμές παραγωγής και στην έρευνα και ανάπτυξη. Είναι χαρακτηριστικά Προϊόν περιγράφονται παρακάτω.

  1. Αυτόματη λειτουργία χαρτογράφησης
    Το προϊόν είναι εξοπλισμένο με αυτόματο R-θήτα στάδιο που μπορεί να υποστηρίξει μη ξεπεράσετε τους 300 υπόστρωμα mm διάμετρος οποία μπορεί μέτρο αυτόματα το πάχος της επιφάνειας υποστρώματος και οπτικών σταθερή διανομής και εμφανίσετε τα αποτελέσματα μέτρησης στο χάρτη χρώμα.
  2. Ultra υψηλής ταχύτητας μετρήσεις
    Αυτό το προϊόν μπορεί να επιτύχει εξαιρετικά υψηλή ταχύτητα μετρήσεων (μέγιστη ταχύτητα των 20ms/point) με τη μέτρηση στιγμιότυπο χρησιμοποιώντας φασματοσκοπικές ελλειψομετρία με δύο υψηλής προκειμένου επιβραδυντές, η οποία ήταν αδύνατον για το προηγούμενο φασματοσκοπικές ellipsometer.
  3. Απόδοση κόστους
    Το προϊόν αυτό προσφέρει εκπληκτική απόδοση του κόστους, διότι προσφέρεται στάνταρ με λειτουργίες όπως η 300 mm διάμετρο αυτόματης χαρτογράφησης, αυτόματη ρύθμιση ύψους, ένα lap-top υπολογιστών, λογισμικό ανάλυσης, καθώς και άλλο εξοπλισμό.
  4. Επεξεργάσιμο αρχείο πίνακα υλικών
    Το αρχείο πίνακας υλικά, περιέχουν οπτικές σταθερές για υποστρώματα και ταινίες, μπορούν να επεξεργαστούν και προστεθούν από χρήστες, δυνατότητας εύκολης δημιουργία χρήστη-μοναδικές βάσεις δεδομένων.
  5. Multi-στρώμα μετρήσεις φιλμ
    Μέχρι έξι στρώματα πάχους φιλμ μπορεί να αναλυθεί σε ένα χρόνο. (Πάχος φιλμ και οπτικών σταθερές μπορεί να μετρηθεί ταυτόχρονα μόνο για το ανώτερο στρώμα των φιλμ.)

Επισκόπηση των "VFR-400" και "VFR-500"

ULVAC έχει αναπτύξει και εμπορευματοποιηθεί Μεγάλα Βαλβίδες Pendulum "VFR-400" και "VFR-500" για μεγάλες συστήματα κενού.

Η διάμετροι των νεοαποκτηθέντα Μεγάλα Valve Pendulum "VFR-400" και "VFR-500" είναι 16 ίντσες και 20 ίντσες αντίστοιχα.

Χαρακτηριστικά αυτών των νέων προϊόντων είναι οι εξής.

Last Update: 11. November 2011 17:55

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit