Nuevo Ellipsometer Espectroscópico De Alta Velocidad Automatizado de ULVAC

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc. introduce el “SM2”, un tipo indicador multi del transductor de la ionización que pueda conectar las cargas del indicador con diversos rangos de la medición. ULVAC también release/versión, el “UNECS-3000A”, un ellipsometer espectroscópico de alta velocidad automático que pueden medir el espesor de una película fina, así como, constante óptico. Finalmente, ULVAC anuncia el lanzamiento del “VFR-400” y de “VFR-500”, de las válvulas grandes del péndulo para el equipo de fabricación de FPD, usadas en mercados tales como fabricación (electroluminiscente) orgánica del EL y equipo grande del vacío.

Reseña de “SH2”

ULVAC ha desarrollado y ha comercializado el tipo del transductor Indicador SH2 del “Multi” de la ionización de G-TRAN (patente pendiente) que puede conectar las cargas del indicador con diversos rangos de la medición. La Serie desarrollada recientemente “Indicador Multi SH2 de G-TRAN de la Ionización” es un tipo indicador de la separación de vacío de la amplia gama que puede conectar tres diversos tipos de indicadores de vacío incorporando señales de un indicador “SPU” de Pirani y un sensor Atmosférico “SAU”.

Además de poder seleccionar a la carga del indicador resolver el rango deseado del vacío del utilizador, el indicador de vacío también tiene ventajas siguientes.

  1. Posible medir una amplia gama (presión atmosférica al rango del alto vacío; 5x10-8Pa)
  2. Posible reemplazar solamente las cargas falladas del indicador
  3. Posible reducir los costos corrientes (tipo ambiental inferior de la carga)

Con la nueva Serie “Indicador Multi SH2 de G-TRAN de la ionización” que es posible seleccionar el indicador vaya al rango que necesita ser medido. El corazón del nuevo producto es “ionización la unidad del indicador SH2 Multi” que puede medir coloca de un vacío mediano a un alto vacío. Una amplia gama de mediciones pueden ser realizadas usando el indicador de Pirani (SPU) si se requiere una medición inferior del rango del vacío, o conectar el sensor Atmosférico (SAU) si usted quisiera medir exacto la presión atmosférica. Para este producto nos centramos nuestro revelado en utilidad incluyendo una función amonestadora que permitirá al utilizador saber cuándo la vida del filamento es inferior y un LED altamente visible que permitirán al utilizador saber de lejos cuándo ha ocurrido un funcionamiento incorrecto. El precio de la carga Multi fungible del indicador de la ionización también fue bajado a la mitad del precio de mercado original.

Reseña de “UNECS-3000A”

El ellipsometer espectroscópico de alta velocidad automático de “UNECS-3000A” combina las capacidades de medición ultrarrápidas del ellipsometer espectroscópico de alta velocidad “UNECS-2000” con una función de correspondencia automática que pueda manejar los substratos de 300 milímetros de diámetro, así activando la medición grandemente aumentada de la distribución del espesor del film. Por ejemplo, tarda apenas 120 segundos para medir 106 puntas en un fulminante de 300 milímetros de diámetro. Éste es menos de un quinto de la época para los productos convencionales de otras compañías, significando ahorros dramáticos del tiempo en la evaluación de distribución del espesor del film. El “UNECS-3000A” es extremadamente versátil y se puede utilizar para los propósitos tales como evaluación resiste el espesor del film para la litografía del semiconductor y la película orgánica de la visualización del EL, y en una amplia gama de configuraciones incluyendo las líneas de montaje y en la investigación y desarrollo. Las características de Producto son descritas más abajo.

  1. Función de correspondencia Automática
    El producto se equipa de un escenario automático de la R-Theta que pueda utilizar un máximo el substrato de 300 milímetros de diámetro que puede medir automáticamente el espesor de la superficie del substrato y de la distribución constante óptica y visualiza los resultados de la medición en una correspondencia de color.
  2. Mediciones Ultra de alta velocidad
    Este producto puede lograr las mediciones de la ultra-alto-velocidad (velocidad máxima de 20ms/point) con la medición de la foto usando ellipsometry espectroscópico con dos retardadores de alto nivel que era imposible para el ellipsometer espectroscópico anterior.
  3. Funcionamiento de Costo
    Este producto ofrece funcionamiento de costo increíble porque viene patrón con funciones tales como correspondencia automática de 300 milímetros de diámetro, ajuste de altura automático, el ordenador de computadora portátil, software de análisis, y otro equipo.
  4. Fichero de vector Editable de materiales
    El fichero de vector de materiales, conteniendo los constantes ópticos para los substratos y las películas, se puede corregir y agregar por a los utilizadores, activando la creación fácil de bases de datos utilizador-únicas.
  5. Mediciones de la película De Múltiples Capas
    Hasta seis capas de espesor del film se pueden analizar al mismo tiempo. (El espesor del film Y los constantes ópticos se pueden medir simultáneamente solamente para la capa superior de la película.)

Reseña de “VFR-400” y de “VFR-500”

ULVAC se ha convertido y las Válvulas Grandes comercializadas “VFR-400” y “VFR-500” del Péndulo para los sistemas grandes del vacío.

Los diámetros de la Válvula Grande desarrollada recientemente “VFR-400” y “VFR-500” del Péndulo son 16 pulgadas y 20 pulgadas respectivamente.

Las Características de estos nuevos productos están como sigue.

  1. Este producto no utiliza un mecanismo mecánico del bloqueo. Un mecanismo único del lacre realiza la apertura baja en vibraciones y los movimientos cerrados (patente pendiente).
  2. La Manteniabilidad fue mejorada porque es posible poner y sacar su placa de la válvula sin la eliminación de la cubierta de la válvula de sistemas del vacío.

Last Update: 12. January 2012 14:42

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