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Ellipsometer Spectroscopique Ultra-rapide Robotisé Neuf d'ULVAC

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc. introduit le « SM2 », un type outil multi de transducteur d'ionisation qui peut connecter des têtes d'outil avec différents domaines de mesure. ULVAC relâche également, le « UNECS-3000A », un ellipsometer spectroscopique ultra-rapide automatique qui peuvent mesurer l'épaisseur d'un film mince, ainsi que, constante optique. En Conclusion, ULVAC annonce le lancement du « VFR-400 » et de « VFR-500 », de grandes soupapes de pendule pour l'équipement industriel de FPD, utilisées sur les marchés tels que la fabrication (électro-luminescente) organique d'EL et le grand matériel d'aspirateur.

Synthèse de « SH2 »

ULVAC a développé et a commercialisé le type de transducteur de l'Outil SH2 « Multi » d'ionisation de G-TRAN (brevet en instance) qui peut connecter des têtes d'outil avec différents domaines de mesure. La Suite developpée récemment « l'Outil Multi SH2 de G-TRAN d'Ionisation » est un type outil de séparation d'aspirateur de large gamme qui peut connecter trois types différents d'outils d'aspirateur en comportant des signes d'un outil « SPU » de Pirani et un senseur Atmosphérique « SAU ».

En plus de pouvoir sélecter le chef d'outil contacter le domaine désiré d'aspirateur par l'utilisateur, l'outil d'aspirateur a également des avantages suivants.

  1. Possible de mesurer une large gamme (pression atmosphérique au domaine de vide poussé ; 5x10-8Pa)
  2. Possible de remonter seulement les têtes défaillantes d'outil
  3. Possible de réduire des coûts de fonctionnement (type environnemental faible de fardeau)

Avec la Suite neuve « l'Outil Multi SH2 de G-TRAN d'ionisation » il est possible de sélecter la tête d'outil pour le domaine qui doit être mesuré. Le coeur du produit nouveau est « l'ionisation l'ensemble d'outil SH2 Multi » qui peut mesurer s'échelonne d'un aspirateur moyen à un vide poussé. Un large éventail de mesures peuvent être exécutées à l'aide de l'outil de Pirani (SPU) si une mesure faible de domaine d'aspirateur est exigée, ou connecter le senseur Atmosphérique (SAU) si vous voudriez mesurer avec précision la pression atmosphérique. Pour ce produit nous avons concentré notre développement sur la facilité d'utilisation en incluant un fonctionnement d'avertissement qui fera l'utilisateur savoir quand la durée de vie de filament est faible et une AVANCE hautement visible qui feront l'utilisateur savoir de loin quand une panne s'est produite. Le prix de la tête Multi consommable d'outil d'ionisation a été également abaissé à la moitié du prix du marché initial.

Synthèse de « UNECS-3000A »

L'ellipsometer spectroscopique ultra-rapide automatique de « UNECS-3000A » combine les capacités de mesure ultra-rapides de l'ellipsometer « UNECS-2000 » spectroscopique ultra-rapide avec un fonctionnement de mappage automatique qui peut traiter des substrats de 300 millimètres de diamètre, de ce fait activant grand la mesure améliorée de la distribution d'épaisseur de film. Par exemple, cela prend juste 120 secondes pour mesurer 106 remarques sur un disque de 300 millimètres de diamètre. C'est moins d'un cinquième du moment pour les produits conventionnels d'autres compagnies, signifiant l'épargne excessive de temps sur le bilan de distribution d'épaisseur de film. Le « UNECS-3000A » est extrêmement versatile et peut être utilisé pour des buts tels que l'évaluation résiste à l'épaisseur de film pour la lithographie de semi-conducteur et le film organique d'affichage d'EL, et dans un large éventail de configurations comprenant des lignes de production et dans la recherche et développement. Les Caractéristiques des produits sont décrites ci-dessous.

  1. Fonctionnement de mappage Automatique
    Le produit est équipé d'un stade automatique de R-Thêta qui peut supporter un maximum le substrat de 300 millimètres de diamètre qui peut automatiquement mesurer l'épaisseur de la surface de substrat et de la distribution constante optique et affiche les résultats de mesure sur une carte couleur.
  2. Mesures Ultra ultra-rapides
    Ce produit peut réaliser les mesures d'ultra-haut-vitesse (vitesse maximale de 20ms/point) avec la mesure d'instantané à l'aide d'ellipsometry spectroscopique avec deux retardateurs d'ordre élevé qui était impossible pour l'ellipsometer spectroscopique précédent.
  3. Performance de Coût
    Ce produit offre la performance de coût incroyable parce qu'il vient norme avec des fonctionnements tels que le mappage automatique de 300 millimètres de diamètre, le réglage de la hauteur automatique, un ordinateur portable, le logiciel d'analyse, et tout autre matériel.
  4. Fichier Editable de table de matériaux
    Le fichier de table de matériaux, contenant des constantes optiques pour des substrats et des films, peut être édité et ajouté à par les utilisateurs, activant la création facile d'utilisateur-seules bases de données.
  5. Mesures de film Multicouche
    Jusqu'à six couches d'épaisseur de film peuvent s'analyser en même temps. (L'épaisseur de Film et les constantes optiques peuvent être mesurées simultanément seulement la couche supérieure du film.)

Synthèse de « VFR-400 » et de « VFR-500 »

ULVAC s'est développé et les Grandes Soupapes commercialisées de Pendule « VFR-400 » et « VFR-500 » pour de grands systèmes d'aspirateur.

Les diamètres de la Grande Soupape developpée récemment « VFR-400 » et « VFR-500 » de Pendule sont de 16 pouces et de 20 pouces respectivement.

Les Caractéristiques techniques de ces produits nouveaux sont comme suit.

  1. Ce produit n'utilise pas un mécanisme mécanique de verrou. Un seul mécanisme de chasse aux phoques réalise l'ouverture de faible-vibration et les mouvements fermants (brevet en instance).
  2. La Maintenabilité a été améliorée parce qu'il est possible de mettre en circuit et enlever sa plaque de soupape sans retirer le manteau de bec de soupape des systèmes d'aspirateur.

Last Update: 12. January 2012 15:05

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