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नई स्वचालित हाई स्पीड ULVAC से स्पेक्ट्रोस्कोपी ellipsometer

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc "SM2", एक transducer प्रकार बहु ionization गेज जो अलग माप पर्वतमाला के साथ गेज सिर से कनेक्ट कर सकते हैं परिचय. ULVAC भी रिलीज, "UNECS-3000A, एक स्वत: उच्च गति स्पेक्ट्रोस्कोपी ellipsometer है जो एक पतली फिल्म की मोटाई उपाय कर सकते हैं, के रूप में अच्छी तरह के रूप में, निरंतर ऑप्टिकल. अंत में, ULVAC "VFR-400" और "VFR 500", FPD निर्माण उपकरणों के लिए बड़ी पेंडुलम वाल्व, जैविक electroluminescent () विनिर्माण और बड़े निर्वात उपकरण ईएल जैसे बाजारों में इस्तेमाल के शुभारंभ की घोषणा की.

"SH2" का अवलोकन

ULVAC विकसित की है और जी ट्रॅन "मल्टी ionization SH2 गेज" (पेटेंट लंबित) commercialized transducer प्रकार है कि अलग माप पर्वतमाला के साथ गेज सिर से कनेक्ट कर सकते हैं. नव विकसित जी ट्रॅन सीरीज "मल्टी Ionization गेज SH2" एक अलग प्रकार की विस्तृत श्रृंखला वैक्यूम गेज कि Pirani गेज "SPU" और एक वायुमंडलीय सेंसर "साव" से शामिल संकेतों द्वारा वैक्यूम गेज की तीन अलग अलग प्रकार से कनेक्ट कर सकते है.

गेज सिर का चयन करने के लिए उपयोगकर्ता द्वारा वांछित वैक्यूम श्रृंखला को पूरा करने में सक्षम किया जा रहा करने के लिए इसके अलावा, वैक्यूम गेज निम्नलिखित फायदे हैं.

  1. एक विस्तृत श्रृंखला (; 5x10-8Pa उच्च वैक्यूम श्रृंखला के लिए वायुमंडलीय दबाव) उपाय संभव
  2. संभव ही में विफल रहा गेज सिर की जगह
  3. संभव चलाने की लागत (कम पर्यावरण के बोझ प्रकार) को कम करने के लिए

यह नई श्रृंखला जी ट्रॅन "मल्टी ionization SH2 गेज" के साथ रेंज की जरूरत है कि मापा जा के लिए गेज सिर का चयन संभव है. नए उत्पाद के दिल "मल्टी गेज ionization SH2" इकाई है जो पर्वतमाला एक मध्यम शून्य से एक उच्च वैक्यूम के लिए उपाय कर सकते है. माप की एक विस्तृत श्रृंखला Pirani गेज (SPU) का उपयोग कर यदि एक कम निर्वात रेंज माप की आवश्यकता है, या वायुमंडलीय सेंसर (साव) कनेक्ट अगर आप ठीक वायुमंडलीय दबाव मापने के लिए करना चाहते हैं के द्वारा किया जा सकता है. इस उत्पाद के लिए हम प्रयोज्य पर एक चेतावनी समारोह है कि उपयोगकर्ता पता जब फिलामेंट जीवन कम है और एक उच्च दिखाई एलईडी कि चलो उपयोगकर्ता दूर से पता है जब एक खराबी आ गई है. सहित द्वारा हमारे विकास केंद्रित उपभोज्य मल्टी ionization गेज सिर की कीमत भी मूल बाजार मूल्य के आधे के लिए उतारा गया.

"UNECS 3000A" का अवलोकन

"UNECS 3000A" स्वत: उच्च गति स्पेक्ट्रोस्कोपी ellipsometer "UNECS 2000" एक स्वचालित मानचित्रण समारोह में कहा कि 300 मिमी व्यास substrates संभाल कर सकते हैं के साथ उच्च गति स्पेक्ट्रोस्कोपी ellipsometer के अल्ट्रा तेज मापने क्षमताओं को जोड़ती है, इस तरह फिल्म के बहुत बढ़ाया माप सक्षम करने से मोटाई वितरण. उदाहरण के लिए, यह एक 300 मिमी व्यास वफ़र पर 106 अंक को मापने के लिए सिर्फ 120 सेकंड लेता है. यह अन्य कंपनियों, फिल्म मोटाई वितरण मूल्यांकन पर नाटकीय समय की बचत के अर्थ से पारंपरिक उत्पादों के लिए समय के कम से कम एक पांचवें है. "UNECS-3000A" बहुत बहुमुखी है और प्रयोजनों के लिए इस तरह के मूल्यांकन अर्धचालक लिथोग्राफी और कार्बनिक ईएल प्रदर्शन फिल्म के लिए फिल्म मोटाई का विरोध के रूप में इस्तेमाल किया जा सकता है, और सेटिंग्स की एक विस्तृत रेंज सहित उत्पादन लाइनों और अनुसंधान और विकास में. उत्पाद सुविधाओं के नीचे वर्णित हैं.

  1. स्वचालित मानचित्रण समारोह
    उत्पाद एक स्वचालित आर थीटा मंच है कि अधिकतम 300 मिमी व्यास सब्सट्रेट जो स्वचालित रूप से सब्सट्रेट सतह और ऑप्टिकल निरंतर वितरण की मोटाई मापने के लिए और एक रंग नक्शे पर माप परिणाम प्रदर्शित कर सकते हैं का समर्थन कर सकते हैं के साथ सुसज्जित है.
  2. अल्ट्रा उच्च गति माप
    यह उत्पाद स्नैपशॉट माप के साथ अति उच्च गति माप (20ms/point की अधिकतम गति) दो उच्च आदेश retarders जो पिछले स्पेक्ट्रोस्कोपी ellipsometer के लिए असंभव था के साथ स्पेक्ट्रोस्कोपी ellipsometry का उपयोग करके प्राप्त कर सकते हैं.
  3. लागत प्रदर्शन
    यह उत्पाद है अविश्वसनीय लागत प्रदर्शन प्रदान करता है क्योंकि यह 300 मिमी व्यास स्वत: मानचित्रण, स्वत: ऊंचाई समायोजन, एक गोद टॉप कंप्यूटर, विश्लेषण सॉफ्टवेयर, और अन्य उपकरणों जैसे कार्यों के साथ मानक आता है.
  4. संपादन सामग्री तालिका फ़ाइल
    सामग्री तालिका फ़ाइल, substrates और फिल्मों के लिए ऑप्टिकल स्थिरांकों वाले, और संपादित किया जा सकता है करने के लिए जोड़ा उपयोगकर्ताओं द्वारा उपयोगकर्ता अद्वितीय डेटाबेस का आसान निर्माण को सक्षम.
  5. बहु परत फिल्म माप
    फिल्म मोटाई के छह परतों के लिए एक समय में विश्लेषण किया जा सकता है. (फिल्म मोटाई और ऑप्टिकल स्थिरांक केवल फिल्म की ऊपरी परत के लिए एक साथ मापा जा सकता है.)

अवलोकन और "VFR-400" "VFR-500"

ULVAC विकसित और commercialized बड़े वाल्व "पेंडुलम VFR 400" और बड़े वैक्यूम सिस्टम के लिए "VFR-500".

नव विकसित बड़े पेंडुलम वाल्व "VFR 400" और "VFR-500" का व्यास 16 इंच और 20 इंच क्रमशः रहे हैं.

इन नए उत्पादों के रूप में निम्नानुसार हैं.

Last Update: 26. November 2011 02:19

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