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Nuovo automatico ad alta velocità Ellipsometer spettroscopica da ULVAC

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc. introduce il "SM2", un tipo di trasduttore più calibro di ionizzazione che può collegarsi teste di misura con campi di misura differenti. ULVAC rilascia anche il "UNECS-3000A", un automatico ad alta velocità ellipsometer spettroscopici, che può misurare lo spessore di un film sottile, così come, alla costante ottica. Infine, ULVAC annuncia il lancio del "VFR-400" e "VFR-500", valvole a pendolo per grandi impianti di produzione FPD, utilizzato in mercati come organico EL (elettroluminescenza) di produzione e le attrezzature a vuoto di grandi dimensioni.

Panoramica "SH2"

ULVAC ha sviluppato e commercializzato il G-TRAN "Gauge Multi ionizzazione SH2" (patent pending) Tipo di trasduttore in grado di connettersi teste di misura con campi di misura differenti. La nuova Serie G-TRAN "Multi SH2 Gauge ionizzazione" è un tipo di separazione ampia gamma calibro di vuoto che si può connettere tre diversi tipi di misuratori di vuoto da segnali che incorpora un calibro da Pirani "SPU" e un sensore atmosferico "SAU".

Oltre ad essere in grado di selezionare la testa di misura per soddisfare la gamma di vuoto desiderato dall'utente, il vacuometro ha inoltre i seguenti vantaggi.

  1. Possibile misurare una vasta gamma (pressione atmosferica alla gamma di alto vuoto; 5x10-8Pa)
  2. Possibile sostituire teste di misura solo non
  3. Possibile ridurre i costi di gestione (tipo a basso impatto ambientale)

Con il G-TRAN nuovo "indicatore di ionizzazione Multi SH2" serie è possibile selezionare la testa di misura per il campo che deve essere misurato. Il cuore del nuovo prodotto è il "Multi calibro di ionizzazione SH2" unità di misura che può va da un vuoto medio-alto vuoto. Una vasta gamma di misure possono essere eseguite usando l'indicatore di Pirani (SPU) se un basso campo di misura del vuoto è richiesto, o collegare il sensore atmosferica (SAU) se si vuole misurare con precisione la pressione atmosferica. Per questo prodotto ci siamo concentrati sul nostro sviluppo usabilità includendo una funzione di allarme che permettono all'utente di sapere quando il filamento vita è bassa e una alta visibilità LED che permette all'utente di sapere da lontano, quando un guasto si sia verificato. Il prezzo del capo di consumo multi calibro di ionizzazione è stato abbassato a metà del prezzo di mercato originali.

Panoramica "UNECS-3000A"

Il "UNECS-3000A" automatica ad alta velocità ellipsometer spettroscopiche combina le capacità di misurazione ultra-veloce di "UNECS-2000" ad alta velocità ellipsometer spettroscopiche con una funzione di mappatura automatica in grado di gestire supporti 300 mm di diametro, permettendo così la misura notevolmente maggiore di film spessore di distribuzione. Per esempio, ci vogliono solo 120 secondi per misurare 106 punti su un wafer di 300 mm di diametro. Si tratta di meno di un quinto del tempo per i prodotti convenzionali da altre aziende, il che significa risparmio di tempo drammatico sulla valutazione della distribuzione dello spessore del film. Il "UNECS-3000A" è estremamente versatile e può essere utilizzato per scopi quali la valutazione di resistere spessore del film per litografia di semiconduttori organici e pellicola per espositori EL, e in una vasta gamma di impostazioni tra cui linee di produzione e in ricerca e sviluppo. Le caratteristiche del prodotto sono descritte di seguito.

  1. Funzione automatica di mappatura
    Il prodotto è dotato di un sistema R-theta fase che può supportare un massimo di 300 mm di diametro substrato in grado di misurare automaticamente lo spessore della superficie del substrato e ottica distribuzione costante e visualizzare i risultati della misurazione su una mappa a colori.
  2. Ultra misure ad alta velocità
    Questo prodotto può raggiungere ultra-misure ad alta velocità (velocità massima di 20ms/point) con la misurazione istantanea utilizzando ellissometria spettroscopiche con due rallentatori di ordine superiore che era impossibile per il ellipsometer precedente spettroscopiche.
  3. Costo delle prestazioni
    Questo prodotto offre prestazioni incredibili costo perché si tratta di serie con funzioni come la mappatura 300 mm di diametro automatico, regolazione in altezza automatica, un computer portatile, software di analisi, e altre attrezzature.
  4. Modificabile materiali tabella dei file
    La tabella materiali file, che contiene le costanti ottiche per substrati e film, possono essere modificati e aggiunti da parte degli utenti, consentendo la facile creazione di user-unico database.
  5. Film multistrato misure
    Fino a sei strati di spessore del film può essere analizzato in una sola volta. (Spessore del film e le costanti ottiche possono essere misurate simultaneamente solo per il livello superiore del film).

Panoramica "VFR-400" e "VFR-500"

ULVAC ha sviluppato e commercializzato Valvole Pendolo Large "VFR-400" e "VFR-500" per i sistemi di aspirazione di grandi dimensioni.

I diametri delle valvole di nuova concezione Pendolo Large "VFR-400" e "VFR-500" sono 16 pollici e 20 pollici rispettivamente.

Caratteristiche di questi nuovi prodotti sono i seguenti.

Last Update: 28. October 2011 16:20

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