Site Sponsors
  • Park Systems - Manufacturer of a complete range of AFM solutions
  • Oxford Instruments Nanoanalysis - X-Max Large Area Analytical EDS SDD
  • Strem Chemicals - Nanomaterials for R&D

חדש Ellipsometer אוטומטי High-Speed ​​Spectroscopic מ ULVAC

Published on October 27, 2011 at 8:00 PM

ULVAC, Inc מציגה את "SM2", סוג מתמר מד רב יינון אשר יכול להתחבר ראשי מד מדידה עם טווחים שונים. ULVAC גם משחרר את "UNECS-3000 א", ellipsometer אוטומטית במהירות גבוהה ספקטרוסקופיות אשר יכול למדוד את עובי של סרט דק, כמו גם, אופטי קבוע. לבסוף, ULVAC מכריזה על השקת "VFR-400" ו "VFR-500", שסתומים מטוטלת גדול לציוד ייצור FPD, המשמשים בשווקים כגון אורגני EL (electroluminescent) ייצור ציוד ואקום גדול.

סקירה של "SH2"

ULVAC פיתחה ממוסחרים ה-G-TRAN "מד יינון רב SH2" (פטנט) סוג מתמר שיכול להתחבר ראשי מד מדידה עם טווחים שונים. פיתח G-TRAN בסדרה "Ionization רב מד SH2" הוא סוג ההפרדה ואקום מגוון רחב מד שיכול להתחבר שלושה סוגים שונים של מדדים ואקום על ידי שילוב של אותות מד פיראני "SPU" ו חיישן אטמוספרי "סאו".

בנוסף כדי להיות מסוגל לבחור את ראש מד לפגוש את מגוון ואקום הרצוי על ידי המשתמש, מד ואקום יש גם יתרונות הבאים.

  1. ניתן למדוד מגוון רחב (בלחץ אטמוספרי למגוון ואקום גבוה; 5x10-8Pa)
  2. אפשרי להחליף ראשים מד נכשל רק
  3. ניתן להקטין את עלויות ההפעלה (עומס נמוך סוג סביבתי)

עם "מד יינון רב SH2" ה-G-TRAN סדרה חדשה אפשר לבחור את הראש לאמוד לטווח שצריך למדוד. ליבו של המוצר החדש הוא "יינון רב מד SH2" יחידה אשר יכול למדוד נע בין ואקום ואקום בינוני עד גבוה. מגוון רחב של מדידות יכול להתבצע באמצעות מד פיראני (SPU) אם המדידה נמוכה בטווח ואקום נדרש, או חבר את חיישן אטמוספרי (סאו) אם אתה רוצה למדוד במדויק בלחץ אטמוספרי. עבור מוצר זה התמקדנו בפיתוח שלנו על ידי השימושיות כולל פונקציה אזהרה שיאפשר למשתמש לדעת מתי החיים נימה נמוכה מאוד גלוי LED שיאפשר למשתמש לדעת מרחוק כאשר תקלה התרחשה. המחיר של ראש מד מתכלים Multi יינון הונמך גם חצי מחיר השוק המקורי.

סקירה של "UNECS-3000 א"

"UNECS-3000 א" ellipsometer אוטומטית במהירות גבוהה ספקטרוסקופיות משלב את אולטרה מהיר יכולות מדידה של ellipsometer "UNECS-2000" במהירות גבוהה ספקטרוסקופיות עם פונקציית מיפוי אוטומטי שיכול לטפל בקוטר 300 מ"מ מצעים, ובכך לאפשר מדידה משופר מאוד של הסרט עובי ההפצה. לדוגמה, זה לוקח רק 120 שניות כדי למדוד 106 נקודות רקיק 300 מ"מ קוטר. זהו פחות מחמישית מהזמן למוצרים קונבנציונלי של חברות אחרות, כלומר חיסכון בזמן דרמטי על הערכת עובי הסרט להפצה. "UNECS-3000 א" הוא מאוד תכליתי ויכול לשמש למטרות כגון הערכת להתנגד עובי הסרט עבור ליתוגרפיה של מוליכים למחצה אורגניים הסרט EL להציג, וכן מגוון רחב של הגדרות, כולל קווי ייצור במחקר ופיתוח. תכונות המוצר מתוארים להלן.

  1. מיפוי אוטומטי פונקציה
    המוצר מצויד בשלב R-תטא אוטומטית שיכולה לתמוך קוטר מרבי 300 מ"מ המצע אשר ניתן באופן אוטומטי למדוד את עובי משטח המצע והפצה קבוע אופטית להציג את תוצאות המדידה על המפה בצבע.
  2. אולטרה מהירות גבוהה מדידות
    מוצר זה ניתן להשיג אולטרה מהירות גבוהה מדידות (מהירות מרבית של 20ms/point) עם מדידת תמונה באמצעות ellipsometry ספקטרוסקופיות עם שני גבוהים כדי retarders דבר שהיה בלתי אפשרי עבור ellipsometer ספקטרוסקופיות הקודם.
  3. עלות ביצועים
    מוצר זה מציע ביצועים עלות מדהים כי זה מגיע רגיל עם פונקציות כגון מיפוי אוטומטי בקוטר 300 מ"מ, כוונון גובה אוטומטי, מחשב הברכיים העליונה, תוכנת ניתוח, וציוד אחר.
  4. שולחן חומרים לעריכה הקובץ
    קובץ החומרים בטבלה, המכילה קבועים אופטי מצעים, סרטים, ניתן לערוך הוסיף ידי משתמשים, מה שמאפשר את יצירת קלה של המשתמש הייחודי מסדי נתונים.
  5. רב שכבתיים סרט מדידה
    עד שש שכבות של עובי הסרט ניתן לנתח בו זמנית. (עובי הסרט וקבועים אופטי ניתן למדוד בו זמנית רק על השכבה העליונה של הסרט.)

סקירה של "VFR-400" ו "VFR-500"

ULVAC פיתחה ממוסחרים שסתומים מטוטלת גדול "VFR-400" ו "VFR-500" עבור מערכות ואקום גדול.

בקטרים ​​של Valve פיתח את המטוטלת גדולה "VFR-400" ו "VFR-500" הם 16 ס"מ ו -20 ס"מ בהתאמה.

תכונות אלה של המוצרים החדשים הינם כדלקמן.

Last Update: 7. November 2011 20:01

Tell Us What You Think

Do you have a review, update or anything you would like to add to this news story?

Leave your feedback
Submit